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钢领电弧离子镀TiAlCN薄膜的工艺研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-13页
1 绪论第13-27页
   ·课题研究背景第13-14页
   ·国内外钢领研究现状第14-18页
     ·国外钢领的研究现状第14-16页
     ·国内钢领的研究现状第16-17页
     ·国内外钢领的差距第17-18页
   ·钢领主要性能要求和失效形式第18-19页
     ·钢领失效形式第18-19页
     ·钢领主要性能要求第19页
   ·电弧离子镀技术介绍第19-22页
     ·电弧离子镀的主要结构和镀膜原理第19-20页
     ·电弧离子镀的技术特点第20页
     ·电弧离子镀的应用第20-22页
   ·多元膜的发展第22-26页
     ·TiN 薄膜第22页
     ·TiAlN 薄膜第22-25页
     ·TiCN 薄膜第25页
     ·TiAlCN 薄膜第25-26页
   ·选题来源及主要研究内容第26-27页
     ·课题来源第26页
     ·主要研究内容第26-27页
2 实验材料与方法第27-33页
   ·GCr15 材料成分第27页
   ·TiAlCN 薄膜的制备第27-30页
     ·镀膜设备第27-29页
     ·薄膜制备所需材料第29页
     ·试样预处理第29页
     ·镀膜步骤第29-30页
   ·性能测试仪器第30-33页
     ·显微硬度测试第30-31页
     ·纳米压痕仪第31页
     ·薄膜显微结构测试第31页
     ·薄膜表面形貌和成分分析第31页
     ·薄膜附着力第31-32页
     ·薄膜摩擦系数第32-33页
3 基体粗糙度和硬度对 TiAlCN 薄膜附着力的影响第33-39页
   ·工艺参数第33页
   ·薄膜表面形貌、成分及组织结构分析第33-36页
     ·薄膜表面形貌第33-34页
     ·薄膜相结构第34-36页
     ·薄膜成分第36页
   ·薄膜机械性能第36-38页
     ·薄膜附着力第36-38页
   ·小结第38-39页
4 偏压对 TiAlCN 薄膜性能的影响第39-47页
   ·工艺参数第39页
   ·薄膜表面形貌、成分及组织结构分析第39-44页
     ·薄膜表面和断面形貌第39-40页
     ·薄膜相结构第40-41页
     ·薄膜成分第41-43页
     ·偏压对颗粒的影响第43-44页
   ·薄膜机械性能第44-46页
     ·薄膜硬度第44-45页
     ·薄膜附着力第45-46页
   ·小结第46-47页
5 弧电流对 TiAlCN 薄膜性能的影响第47-55页
   ·工艺参数第47页
   ·薄膜表面形貌、成分及组织结构分析第47-51页
     ·薄膜表面和断面形貌第47-48页
     ·薄膜相结构第48-49页
     ·薄膜成分第49-50页
     ·偏压对颗粒的影响第50-51页
   ·薄膜机械性能第51-53页
     ·薄膜硬度第51-52页
     ·薄膜附着力第52-53页
   ·小结第53-55页
6 C 含量对 TiAlCN 薄膜性能的影响第55-63页
   ·工艺参数第55-56页
   ·薄膜表面形貌成分及组织结构分析第56-59页
     ·薄膜表面形貌和断面形貌第56-57页
     ·薄膜相结构第57-58页
     ·薄膜成分第58-59页
   ·薄膜机械性能第59-62页
     ·薄膜硬度和弹性模量第59-60页
     ·薄膜附着力第60-61页
     ·薄膜摩擦系数第61-62页
   ·小结第62-63页
7 总结与展望第63-65页
   ·全文工作总结第63-64页
   ·未来工作展望第64-65页
致谢第65-67页
参考文献第67-73页
攻读学位期间发表的论文及专利第73-74页

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