摘要 | 第1-7页 |
ABSTRACT | 第7-13页 |
1 绪论 | 第13-27页 |
·课题研究背景 | 第13-14页 |
·国内外钢领研究现状 | 第14-18页 |
·国外钢领的研究现状 | 第14-16页 |
·国内钢领的研究现状 | 第16-17页 |
·国内外钢领的差距 | 第17-18页 |
·钢领主要性能要求和失效形式 | 第18-19页 |
·钢领失效形式 | 第18-19页 |
·钢领主要性能要求 | 第19页 |
·电弧离子镀技术介绍 | 第19-22页 |
·电弧离子镀的主要结构和镀膜原理 | 第19-20页 |
·电弧离子镀的技术特点 | 第20页 |
·电弧离子镀的应用 | 第20-22页 |
·多元膜的发展 | 第22-26页 |
·TiN 薄膜 | 第22页 |
·TiAlN 薄膜 | 第22-25页 |
·TiCN 薄膜 | 第25页 |
·TiAlCN 薄膜 | 第25-26页 |
·选题来源及主要研究内容 | 第26-27页 |
·课题来源 | 第26页 |
·主要研究内容 | 第26-27页 |
2 实验材料与方法 | 第27-33页 |
·GCr15 材料成分 | 第27页 |
·TiAlCN 薄膜的制备 | 第27-30页 |
·镀膜设备 | 第27-29页 |
·薄膜制备所需材料 | 第29页 |
·试样预处理 | 第29页 |
·镀膜步骤 | 第29-30页 |
·性能测试仪器 | 第30-33页 |
·显微硬度测试 | 第30-31页 |
·纳米压痕仪 | 第31页 |
·薄膜显微结构测试 | 第31页 |
·薄膜表面形貌和成分分析 | 第31页 |
·薄膜附着力 | 第31-32页 |
·薄膜摩擦系数 | 第32-33页 |
3 基体粗糙度和硬度对 TiAlCN 薄膜附着力的影响 | 第33-39页 |
·工艺参数 | 第33页 |
·薄膜表面形貌、成分及组织结构分析 | 第33-36页 |
·薄膜表面形貌 | 第33-34页 |
·薄膜相结构 | 第34-36页 |
·薄膜成分 | 第36页 |
·薄膜机械性能 | 第36-38页 |
·薄膜附着力 | 第36-38页 |
·小结 | 第38-39页 |
4 偏压对 TiAlCN 薄膜性能的影响 | 第39-47页 |
·工艺参数 | 第39页 |
·薄膜表面形貌、成分及组织结构分析 | 第39-44页 |
·薄膜表面和断面形貌 | 第39-40页 |
·薄膜相结构 | 第40-41页 |
·薄膜成分 | 第41-43页 |
·偏压对颗粒的影响 | 第43-44页 |
·薄膜机械性能 | 第44-46页 |
·薄膜硬度 | 第44-45页 |
·薄膜附着力 | 第45-46页 |
·小结 | 第46-47页 |
5 弧电流对 TiAlCN 薄膜性能的影响 | 第47-55页 |
·工艺参数 | 第47页 |
·薄膜表面形貌、成分及组织结构分析 | 第47-51页 |
·薄膜表面和断面形貌 | 第47-48页 |
·薄膜相结构 | 第48-49页 |
·薄膜成分 | 第49-50页 |
·偏压对颗粒的影响 | 第50-51页 |
·薄膜机械性能 | 第51-53页 |
·薄膜硬度 | 第51-52页 |
·薄膜附着力 | 第52-53页 |
·小结 | 第53-55页 |
6 C 含量对 TiAlCN 薄膜性能的影响 | 第55-63页 |
·工艺参数 | 第55-56页 |
·薄膜表面形貌成分及组织结构分析 | 第56-59页 |
·薄膜表面形貌和断面形貌 | 第56-57页 |
·薄膜相结构 | 第57-58页 |
·薄膜成分 | 第58-59页 |
·薄膜机械性能 | 第59-62页 |
·薄膜硬度和弹性模量 | 第59-60页 |
·薄膜附着力 | 第60-61页 |
·薄膜摩擦系数 | 第61-62页 |
·小结 | 第62-63页 |
7 总结与展望 | 第63-65页 |
·全文工作总结 | 第63-64页 |
·未来工作展望 | 第64-65页 |
致谢 | 第65-67页 |
参考文献 | 第67-73页 |
攻读学位期间发表的论文及专利 | 第73-74页 |