MEMS微观摩擦磨损测试装置研制
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| Contents | 第10-12页 |
| 图清单 | 第12-17页 |
| 表清单 | 第17-18页 |
| 变量注释表 | 第18-19页 |
| 1 绪论 | 第19-31页 |
| ·课题的背景与来源 | 第19-23页 |
| ·微观摩擦磨损测试装置的研究现状 | 第23-29页 |
| ·本文的研究目的和意义 | 第29-30页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第30-31页 |
| 2 测试装置的总体设计 | 第31-39页 |
| ·测试装置的设计要求 | 第31-32页 |
| ·摩擦力测量原理 | 第32-33页 |
| ·测试装置的结构设计 | 第33-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 3 微力测量单元设计 | 第39-59页 |
| ·测力悬臂结构 | 第39-40页 |
| ·周向弹性敏感元件 | 第40-48页 |
| ·纵向弹性敏感元件 | 第48-56页 |
| ·试件 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 4 回转运动的速度控制系统 | 第59-70页 |
| ·无刷直流电机的选用 | 第59-60页 |
| ·电机驱动电路 | 第60-63页 |
| ·电机转子位置检测 | 第63-66页 |
| ·电机控制程序设计与转速标定 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 5 传感器与数据采集 | 第70-76页 |
| ·激光位移传感器 | 第70-71页 |
| ·光斑位置探测器与压电致动器 | 第71-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 6 系统静态特性和测试分析 | 第76-86页 |
| ·摩擦盘端面跳动检测 | 第76-78页 |
| ·纵向弹性敏感元件标定 | 第78-80页 |
| ·测试装置静态特性分析 | 第80-84页 |
| ·实验测试分析 | 第84-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 7 结论和展望 | 第86-88页 |
| ·结论 | 第86页 |
| ·展望 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-92页 |
| 附录 | 第92-102页 |
| 作者简历 | 第102-104页 |
| 学位论文数据集 | 第104页 |
