红外与太赫兹衍射光学器件的设计与制作
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| ·衍射光学技术 | 第9-10页 |
| ·红外与太赫兹波 | 第10-11页 |
| ·论文结构及主要工作 | 第11-13页 |
| 2. 衍射光学器件的计算机仿真 | 第13-24页 |
| ·光的衍射 | 第13-17页 |
| ·标量衍射理论及算法 | 第17-21页 |
| ·光刻版图 | 第21-23页 |
| ·小结 | 第23-24页 |
| 3. 硅的各向异性湿法腐蚀 | 第24-34页 |
| ·硅晶体结构 | 第24-25页 |
| ·各向异性湿法腐蚀 | 第25-31页 |
| ·两步湿法腐蚀 | 第31-32页 |
| ·小结 | 第32-34页 |
| 4. 红外衍射器件的设计与制作 | 第34-51页 |
| ·计算相位图 | 第34-38页 |
| ·版图的制作 | 第38-41页 |
| ·两步湿法腐蚀工艺 | 第41-43页 |
| ·测试 | 第43-49页 |
| ·小结 | 第49-51页 |
| 5. 太赫兹衍射器件的设计与制作 | 第51-67页 |
| ·相位图及光刻版图 | 第51-56页 |
| ·两步湿法腐蚀工艺 | 第56-60页 |
| ·测试 | 第60-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 6. 总结 | 第67-69页 |
| ·全文研究的创新点 | 第67页 |
| ·方法改进 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 附录一（攻读硕士期间发表的文章） | 第74-75页 |
| 附录二（本文相关主要程序） | 第75-79页 |
