激光圆偏振干涉纳米位移测量信号处理方法

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章 绪论	第9-21页
·课题研究的背景及现状	第9-10页
·纳米测量发展的背景	第9页
·纳米测量方法及现状	第9-10页
·激光干涉仪信号处理的基本原理及现状	第10-19页
·基本激光干涉仪信号处理原理	第10-12页
·激光干涉仪信号处理现状	第12-19页
·本论文的研究意义	第19页
·论文的组织结构及研究思路	第19-21页
第二章 圆偏振光干涉原理及光路设计	第21-34页
·本章概述	第21页
·圆偏振光特性	第21-26页
·激光圆偏振干涉的原理	第26-31页
·光路结构的设计	第31-32页
·关键技术	第32-34页
第三章 信号处理的方案设计	第34-54页
·本章概述	第34页
·信号处理系统的方案设计	第34-43页
·信号处理的总体方案设计	第34-35页
·信号预处理的方案设计	第35-39页
·FPGA 和 DSP 协同处理系统	第39-43页
·计数方式	第43-52页
·大数计数方式	第43-47页
·小数计算方式	第47-52页
·整合模块	第52页
·本章小结	第52-54页
第四章 实验测试与误差分析	第54-75页
·本章概述	第54页
·基于激光圆偏振干涉仪的位移测量实验	第54-72页
·实验装置及方法	第54-56页
·实验测量结果	第56-72页
·误差分析	第72-75页
第五章 总结与展望	第75-77页
·本论文的创新点	第75页
·本论文的研究工作	第75-76页
·研究展望	第76-77页
参考文献	第77-81页
致谢	第81-82页
附录	第82-87页