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磁控溅射制备CIGS薄膜太阳能电池的研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-11页
1 绪论第11-27页
   ·引言第11-12页
   ·太阳能电池理论基础第12-18页
     ·pn 结的形成第12-13页
     ·pn 结的光生伏特效应第13-14页
     ·太阳能电池的伏安特性第14-15页
     ·太阳能电池的表征第15-16页
     ·太阳电池效率分析第16-18页
   ·太阳能电池的分类第18-22页
     ·Si 基太阳能电池第18-19页
     ·Ⅲ-Ⅴ 族化合物太阳电池第19-20页
     ·Ⅱ-Ⅵ 族化合物太阳电池第20页
     ·染料敏化太阳能电池第20-21页
     ·Ⅰ-Ⅲ-Ⅴ 族化合物太阳电池第21-22页
   ·吸收层的制备方法第22-25页
     ·多元共蒸发法第22-23页
     ·金属预置层后硒化法第23-24页
     ·电沉积法第24-25页
     ·旋涂法(spin coating)第25页
   ·课题的提出及主要研究内容第25-27页
     ·研究的意义第25-26页
     ·研究内容第26-27页
2 薄膜的制备和表征方法第27-35页
   ·磁控溅射第27-30页
     ·磁控溅射的原理第27-29页
     ·实验仪器第29-30页
   ·薄膜的生长第30-33页
     ·溅射的成膜过程第30-31页
     ·薄膜的生长模式与过程第31-33页
   ·薄膜表征第33-35页
     ·膜厚的测量第33页
     ·X-射线衍射第33页
     ·扫描电子显微镜第33-34页
     ·X-射线荧光光谱第34-35页
3 CuInGaSe_2/CuInAlSe_2电子结构与光学特性的计算第35-43页
   ·计算模型与方法第35-36页
   ·结果与讨论第36-42页
     ·能带结构与态密度第36-39页
     ·光学特性第39-42页
   ·小结第42-43页
4 溅射制备CIGS 吸收层及性能研究第43-53页
   ·CIGS 材料特性第43-45页
   ·样品制备第45页
   ·CIS 薄膜结构的分析第45-47页
     ·衬底温度对薄膜结构的影响第45-46页
     ·退火温度对薄膜结构的影响第46-47页
   ·薄膜表面形貌的分析第47-50页
     ·不同衬底温度下的CIS 薄膜的SEM 分析第47-49页
     ·不同退火温度下的CIS 薄膜的SEM 分析第49-50页
   ·Ga 的掺入制备CIGS第50-52页
   ·小结第52-53页
5 缓冲层和窗口层的制备与性能研究第53-59页
   ·缓冲层ZnS第53-55页
     ·ZnS 样品的制备第54页
     ·ZnS 实验结果第54-55页
   ·窗口层 ZnO第55-57页
     ·ZAO 实验结果第55-57页
   ·小结第57-59页
6 总结与展望第59-61页
   ·总结第59-60页
   ·展望第60-61页
参考文献第61-65页
攻读学位期间取得的成果第65-67页
致谢第67-68页

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