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光学面形绝对检测技术研究

摘要第1-7页
Abstract第7-9页
目录第9-11页
第1章 绪论第11-15页
   ·课题研究背景及意义第11-12页
   ·论文的主要研究内容和论文结构安排第12-15页
第2章 绝对检测技术第15-23页
   ·平面绝对检测第15-17页
   ·球面绝对检测第17-20页
   ·平移剪切绝对检测第20-22页
   ·本章小结第22-23页
第3章 基于泽尼克多项式的旋转平移绝对检测第23-39页
   ·基于泽尼克多项式的旋转平移绝对检测原理第23-30页
   ·球面的畸变校正第30-33页
   ·基于泽尼克多项式的旋转平移绝对检测的实际应用第33-38页
   ·本章小结第38-39页
第4章 菲索干涉仪测量不确定度分析第39-65页
   ·菲索干涉仪的测量原理第39-41页
   ·菲索干涉仪的测量不确定度分析第41-63页
     ·分析方法第42-44页
     ·随机误差分析第44-49页
     ·系统误差分析第49-62页
     ·不确定度评估第62-63页
   ·本章小结第63-65页
第5章 基于泽尼克多项式的旋转平移绝对检测不确定度分析第65-105页
   ·不确定度矩阵第65-68页
   ·A 类不确定度第68-71页
   ·B 类不确定度第71-91页
   ·不确定度合成第91页
   ·实验验证第91-104页
   ·本章小结第104-105页
第6章 两球面绝对检测不确定度分析第105-117页
   ·两球面绝对检测理论第105-108页
   ·两球面绝对检测误差分析第108-112页
   ·两球面绝对检测试验结果第112-116页
   ·本章小结第116-117页
第7章 总结与展望第117-119页
   ·本文所做工作与创新点第117-118页
   ·待解决问题和下一步工作第118-119页
参考文献第119-130页
在学期间学术成果情况第130-131页
指导教师及作者简介第131-132页
致谢第132页

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