| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| ·引言 | 第8-12页 |
| ·硅基光子学简介 | 第8-10页 |
| ·硅基光栅的作用 | 第10-12页 |
| ·光栅分束器的国内外研究现状 | 第12-16页 |
| ·本文主要研究工作 | 第16-17页 |
| 第二章 光栅分束器的理论基础 | 第17-32页 |
| ·严格耦合波分析方法简介 | 第17-22页 |
| ·TE偏振光 | 第18-21页 |
| ·TM偏振光 | 第21-22页 |
| ·多层光栅结构严格耦合波分析方法 | 第22-27页 |
| ·TE偏振光 | 第23-26页 |
| ·TM偏振光 | 第26-27页 |
| ·时域有限差分算法 | 第27-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 双功能浅刻蚀非均匀光栅偏振分束器 | 第32-41页 |
| ·光栅偏振分束器简介 | 第32-34页 |
| ·基本设计理论及泄露模简介 | 第34-36页 |
| ·双功能非均匀浅刻蚀光栅偏振分束器结构设计及结果分析 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 偏振无关浅刻蚀光栅功率分束器 | 第41-48页 |
| ·光栅功率分束器简介 | 第41页 |
| ·偏振无关浅刻蚀光栅功率分束器的结构设计及结果分析 | 第41-47页 |
| ·结构设计 | 第41-43页 |
| ·结果分析 | 第43-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 总结与展望 | 第48-50页 |
| ·总结 | 第48页 |
| ·展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 致谢 | 第54-56页 |