| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| ·太阳能历史及发展现状 | 第13-23页 |
| ·太阳能分布 | 第13-15页 |
| ·太阳能利用的现状 | 第15-17页 |
| ·CIGS薄膜太阳能电池概述 | 第17-23页 |
| ·本论文研究的内容和意义 | 第23-25页 |
| 第二章 磁控溅射四元合金靶制备CIGS薄膜研究 | 第25-42页 |
| ·薄膜材料的测试表征 | 第25-30页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第25-26页 |
| ·X射线衍射仪 | 第26-27页 |
| ·拉曼光谱仪 | 第27-28页 |
| ·霍尔效应测试仪 | 第28-29页 |
| ·磁控溅射原理 | 第29-30页 |
| ·磁控溅射原理 | 第30-31页 |
| ·CIGS薄膜制备 | 第31-41页 |
| ·溅射功率对CIGS薄膜的影响 | 第31-39页 |
| ·溅射工作气压对CIGS薄膜的影响 | 第39-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 第三章 退火对CIGS薄膜的影响 | 第42-55页 |
| ·传统退火方法对CIGS薄膜性能的影响 | 第42-49页 |
| ·退火温度对CIGS薄膜性能的影响 | 第42-47页 |
| ·退火时间对CIGS薄膜性能的影响 | 第47-49页 |
| ·改进后的退火工艺 | 第49-54页 |
| ·载气流量对CIGS薄膜形貌的影响 | 第50-52页 |
| ·退火前后CIGS薄膜的化学元素成分和光电性能分析 | 第52-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 第四章 缓冲层CdS薄膜及CIGS电池器件的制备 | 第55-65页 |
| ·CdS薄膜制备 | 第55-62页 |
| ·CIGS电池器件制备及测试 | 第62-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 附录 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |