| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·多模移动终端射频前端中的RF MEMS开关 | 第9-11页 |
| ·多模移动终端的系统结构 | 第9-10页 |
| ·多模移动终端的射频前端 | 第10-11页 |
| ·本文结构 | 第11-12页 |
| 第二章 RF MEMS技术 | 第12-20页 |
| ·引言 | 第12页 |
| ·RF MEMS的理论基础 | 第12-13页 |
| ·RF MEMS技术的特点 | 第13-14页 |
| ·RF MEMS的加工工艺 | 第14-16页 |
| ·RF MEMS的常用材料 | 第16-18页 |
| ·RF MEMS系统的驱动 | 第18-19页 |
| ·RF MEMS技术的应用方向 | 第19-20页 |
| 第三章 RF MEMS开关 | 第20-23页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·RF MEMS开关的特点 | 第20页 |
| ·RF MEMS开关的分类 | 第20-22页 |
| ·串联RF MEMS开关 | 第20-21页 |
| ·并联RF MEMS开关 | 第21-22页 |
| ·RF MEMS开关的主要性能参数 | 第22-23页 |
| 第四章 RF MEMS开关总体设计和理论计算分析 | 第23-34页 |
| ·RF MEMS开关的总体设计 | 第23-24页 |
| ·确定开关类型 | 第23页 |
| ·确定驱动方式 | 第23页 |
| ·初步设计开关结构 | 第23-24页 |
| ·RF MEMS开关的理论计算分析 | 第24-32页 |
| ·悬臂梁的等效弹性系数 | 第24-26页 |
| ·驱动电压分析 | 第26-28页 |
| ·RF MEMS开关的电磁特性分析 | 第28-32页 |
| ·不同材料的残余应力问题 | 第32页 |
| ·理论分析小结及设计 | 第32-34页 |
| 第五章 RF MEMS开关与SP5T开关阵列仿真分析 | 第34-57页 |
| ·MEMS辅助设计软件CoventorWare | 第34-35页 |
| ·使用CoventorWare的Designer生成实体模型 | 第35-46页 |
| ·材料属性库 MPD | 第35-37页 |
| ·ProcessEditor——加工流程设计 | 第37-42页 |
| ·LayoutEditor——二维版图设计 | 第42-43页 |
| ·生成RF MEMS开关实体模型 | 第43-46页 |
| ·Coventor Ware仿真分析 | 第46-55页 |
| ·MemElectro——静电仿真 | 第47-49页 |
| ·MemMech——纯机械仿真 | 第49-50页 |
| ·CoSolveEM——驱动电压仿真 | 第50-53页 |
| ·开关切换时间仿真 | 第53-54页 |
| ·频率响应仿真 | 第54-55页 |
| ·RF MEMS开关设计小结 | 第55-56页 |
| ·设计应用于多模移动终端射频前端的SP5T开关阵列 | 第56-57页 |
| 第六章 论文总结及课题展望 | 第57-58页 |
| ·论文总结 | 第57页 |
| ·课题展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
