基于义齿压力检测的MEMS电容式压力传感器的研制

摘要	第1-6页
Abstract	第6-12页
第一章 概述	第12-21页
·本课题研究的背景	第12-13页
·基于义齿压力检测方法的研究和发展	第13-18页
·本课题研究的意义和内容	第18-21页
第二章 传感器的设计	第21-32页
·MEMS电容式压力传感器的工作原理	第21-22页
·传感器硼硅膜的选择与受力分析	第22-29页
·传感器硼硅膜形状的选择	第23-25页
·硼硅膜受力分析	第25-27页
·ANSYS仿真	第27-29页
·传感器的整体结构设计	第29-32页
第三章 传感器制作的关键工艺研究	第32-51页
·玻璃电极板制备的主要工艺	第32-35页
·光刻	第32-34页
·溅射	第34-35页
·硼硅膜制备的主要工艺	第35-39页
·扩散	第35-37页
·刻蚀硅	第37-39页
·绝缘薄膜制备的主要工艺	第39-43页
·氧化	第39-41页
·干氧氧化和湿氧氧化的比较及选择	第41-42页
·硅片氧化的主要实验流程	第42页
·硅片氧化的主要注意事项	第42-43页
·电极制备的主要工艺	第43-44页
·微传感器的封接工艺	第44-47页
·硅-玻璃静电键合的基本机理	第44-46页
·硅-玻璃键合的操作流程	第46页
·硅-玻璃静电键合的影响因素	第46-47页
·清洗	第47-51页
第四章 传感器工艺流程的设计及制作	第51-65页
·传感器的掩膜板设计	第51-53页
·硅片上的主要工艺流程的设计及制作	第53-58页
·玻璃上的主要工艺流程的设计及制作	第58-60页
·硅-玻璃键合的主要工艺流程的设计及制作	第60-65页
第五章 传感器的测试	第65-73页
·传感器电容初始值的测量	第65-66页
·传感器测试电路的实现	第66-68页
·传感器负载下的压力测试	第68-71页
·下一步的工作	第71-73页
参考文献	第73-76页
致谢	第76-77页
攻读学位期间发表论文	第77页