| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-24页 |
| ·铁电材料的基本特征 | 第11-13页 |
| ·铁电薄膜材料 | 第13-15页 |
| ·铁电存储器 | 第15-17页 |
| ·研究现状和内容 | 第17-22页 |
| ·研究现状 | 第17-20页 |
| ·本论文的研究内容 | 第20-22页 |
| 参考文献 | 第22-24页 |
| 第2章 薄膜制备及实验研究方法 | 第24-40页 |
| ·铁电薄膜的制备技术 | 第24-25页 |
| ·物理气相沉积（PVD） | 第24-25页 |
| ·化学气相沉积（CVD） | 第25页 |
| ·非气相沉积方法 | 第25页 |
| ·溶胶凝胶法简介 | 第25-27页 |
| ·溶胶的稳定性 | 第26页 |
| ·溶胶的粘度 | 第26页 |
| ·热处理条件 | 第26页 |
| ·衬底 | 第26-27页 |
| ·单层膜厚 | 第27页 |
| ·环境的相对湿度 | 第27页 |
| ·环境温度 | 第27页 |
| ·掺杂钛酸铋薄膜的制备 | 第27-29页 |
| ·表征与测试方法 | 第29-39页 |
| ·热重－差热分析（TG-DTA, Extar6000, Seiko） | 第29页 |
| ·X 射线衍射（XRD, DX2500） | 第29-31页 |
| ·原子力显微镜（AFM, SPA400, Seiko） | 第31-32页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM, JEOL, JSM6300） | 第32页 |
| ·X 射线光电子能谱（XPS, Axis Ultra, Kratos） | 第32-33页 |
| ·拉曼光谱（Raman, Renishaw1000） | 第33-34页 |
| ·铁电性能测试（Precision workstation, Radiant Technologies） | 第34-37页 |
| ·光学透射谱（Cary5000, Varian） | 第37-39页 |
| 参考文献 | 第39-40页 |
| 第3章 LaNiO_3 薄膜的制备与性质研究 | 第40-52页 |
| ·引言 | 第40-41页 |
| ·前驱体热分析 | 第41-42页 |
| ·薄膜制备 | 第42页 |
| ·结果与分析 | 第42-49页 |
| ·晶向表征 | 第42-46页 |
| ·表面形貌 | 第46-47页 |
| ·电阻率测试 | 第47-48页 |
| ·元素分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 第4章 Bi_(3.25)La_(0.75)Ti_3O_(12) 薄膜的铁电性质 | 第52-63页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·薄膜制备 | 第52-53页 |
| ·结果与分析 | 第53-61页 |
| ·晶向分析 | 第53-54页 |
| ·表面形貌和横截面 | 第54-57页 |
| ·元素分析 | 第57-59页 |
| ·铁电性质 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 第5章 In 掺杂对钛酸铋薄膜光学性质的影响 | 第63-80页 |
| ·引言 | 第63页 |
| ·前驱体的热分析 | 第63-64页 |
| ·薄膜制备 | 第64-65页 |
| ·结果与分析 | 第65-76页 |
| ·晶相分析 | 第65-66页 |
| ·形貌表征 | 第66-68页 |
| ·元素分析 | 第68-69页 |
| ·铁电性质 | 第69-70页 |
| ·光学性质 | 第70-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 结论 | 第80-81页 |
| 攻读硕士期间已发表和递交的论文 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
