微透镜扫描器的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·MOEMS 扫描器的发展 | 第8-12页 |
| ·微光学的发展 | 第8-9页 |
| ·扫描器的分类和MOEMS 扫描器的发展 | 第9-12页 |
| ·微透镜扫描器的国内外研究概况 | 第12-13页 |
| ·本文主要工作 | 第13-15页 |
| 2 微透镜扫描器的工作原理及其系统结构 | 第15-22页 |
| ·微透镜扫描器的扫描原理及三种组合方式 | 第15-20页 |
| ·微透镜扫描器的扫描原理 | 第15页 |
| ·微透镜扫描器的组合方式 | 第15-20页 |
| ·微透镜扫描器的驱动部分 | 第20-21页 |
| ·本章小节 | 第21-22页 |
| 3 ZEMAX 模拟分析 | 第22-41页 |
| ·扫描角度分析 | 第22-32页 |
| ·可见光材料 | 第23-27页 |
| ·红外材料 | 第27-32页 |
| ·远场光斑分析 | 第32-33页 |
| ·分视场扫描光学系统中扫描器的模拟 | 第33-39页 |
| ·本章小节 | 第39-41页 |
| 4 微透镜扫描器的制作与测试 | 第41-51页 |
| ·微透镜扫描器的制作 | 第41-49页 |
| ·光刻 | 第41-44页 |
| ·热熔 | 第44-46页 |
| ·刻蚀 | 第46-48页 |
| ·制作负微透镜的其他方法 | 第48-49页 |
| ·扫描器的测试 | 第49-50页 |
| ·本章小节 | 第50-51页 |
| 5 微透镜扫描器的应用 | 第51-60页 |
| ·远场扫描光学系统中的应用 | 第51-52页 |
| ·亚像元微扫描光学系统中的应用 | 第52-54页 |
| ·分视场成像光学系统中的应用 | 第54-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 6 总结与展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第66页 |
