基于金属氧化物的甲醛气敏元件的研制

提要	第1-6页
第一章 绪论	第6-19页
·概述	第6-7页
·气体传感器的种类	第7-9页
·半导体气敏元件的分类及特点	第9-16页
·甲醛的危害及研制甲醛传感器的意义	第16-19页
第二章 金属氧化物气体传感器的主要特性及工作原理	第19-29页
·气敏元件的特性参数简介	第19-20页
·表面电导型半导体金属氧化物敏感机理	第20-25页
·贵金属掺杂对元件气敏特性的影响	第25-29页
·催化剂与气敏性能的关系	第25-26页
·催化剂对气敏材料性能的影响	第26-29页
第三章 SnO_2基甲醛敏感元件的研制	第29-49页
·SnO_2 的性质及应用	第29-31页
·SnO_2 材料的制备	第31-32页
·SnO_2 材料的表征	第32-34页
·半导体气敏元件的制作	第34-35页
·测试气体的选择与配气方法	第35-36页
·甲醛敏感元件的制作与测试结果	第36-47页
·甲醛敏感元件的敏感机理	第47-49页
第四章 ZnO 基甲醛敏感元件的研制	第49-62页
·氧化锌的性质及应用	第49-51页
·ZnO 材料的制备	第51-52页
·ZnO 材料的表征	第52-53页
·氧化锌基甲醛敏感元件的研制及测试结果	第53-60页
·甲醛敏感元件的敏感机理	第60-62页
结论	第62-65页
参考文献	第65-70页
摘要	第70-72页
ABSTRACT	第72-74页
致谢	第74页