数字伺服聚焦表面轮廓仪的研制
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·研制仪器的目的和意义 | 第9-10页 |
| ·表面测量技术及测量仪器的发展 | 第10-15页 |
| ·本文的主要工作 | 第15-16页 |
| 2 非接触轮廓测量仪的总体设计 | 第16-20页 |
| ·仪器总体方案设计 | 第16-17页 |
| ·仪器测量过程介绍 | 第17-18页 |
| ·仪器性能指标 | 第18-19页 |
| ·仪器的用途 | 第19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 3 光学设计 | 第20-30页 |
| ·仪器的光路设计 | 第20-22页 |
| ·光路几何成像分析 | 第22-23页 |
| ·聚焦检测信号光学模型分析 | 第23-27页 |
| ·光学器件的选择 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 4 电路设计 | 第30-43页 |
| ·电路总体设计原理 | 第30-31页 |
| ·ISA 接口卡的设计 | 第31-34页 |
| ·驱动电路设计 | 第34-37页 |
| ·信号处理电路 | 第37-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 5 结构设计 | 第43-49页 |
| ·精密机械技术介绍 | 第43页 |
| ·精密工作台的结构设计 | 第43-45页 |
| ·音圈电机结构设计 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 6 程序设计和测量实验 | 第49-62页 |
| ·程序的整体架构 | 第49-53页 |
| ·关键程序设计 | 第53-59页 |
| ·测量实验 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 7 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·全文总结 | 第62页 |
| ·展望和今后工作的建议 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 附录1 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第68-69页 |
| 附录2 硬件电路实物图 | 第69-70页 |
| 附录3 聚焦传感器和测量样块实物图 | 第70页 |
