| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 文献综述 | 第7-16页 |
| ·钙钛矿型氧化物薄膜材料的特点和研究的意义 | 第7-8页 |
| ·YBCO 薄膜研究现状及应用前景介绍 | 第8-10页 |
| ·高温超导薄膜的制备方法介绍 | 第10-11页 |
| ·溶胶-凝胶法制备YBCO 薄膜 | 第11-12页 |
| ·无氟sol-gel 法 | 第11页 |
| ·含氟sol-gel 法 | 第11-12页 |
| ·衬底的选择 | 第12页 |
| ·微细加工在YBCO 薄膜领域的应用 | 第12-13页 |
| ·YBCO 薄膜微细加工方法简介 | 第13-14页 |
| ·早期的微细加工方法简介 | 第13-14页 |
| ·Sol-Gel 与化学修饰法结合发展的微细加工方法 | 第14页 |
| ·研究内容和思路 | 第14-16页 |
| 第二章 实验方案 | 第16-21页 |
| ·实验方案设计 | 第16-17页 |
| ·实验设备 | 第17-20页 |
| ·薄膜制备设备 | 第17-18页 |
| ·溶胶和薄膜的分析仪器 | 第18-19页 |
| ·薄膜性能分析仪器 | 第19-20页 |
| ·试剂的选择 | 第20-21页 |
| 第三章含铜螯合物制备及感光性研究 | 第21-29页 |
| ·前言 | 第21页 |
| ·实验方法 | 第21-23页 |
| ·含铜感光溶胶的制备 | 第21页 |
| ·薄膜与微细图形的制备 | 第21-23页 |
| ·结果与分析 | 第23-26页 |
| ·溶胶的光谱分析 | 第23-25页 |
| ·薄膜的紫外光感光特性 | 第25-26页 |
| ·薄膜的微细图形 | 第26-28页 |
| ·结论 | 第28-29页 |
| 第四章 含钇螯合物制备及感光性研究 | 第29-36页 |
| ·前言 | 第29页 |
| ·实验方法 | 第29-30页 |
| ·含钇感光溶胶的制备 | 第29页 |
| ·薄膜与微细图形的制备 | 第29-30页 |
| ·结果与分析 | 第30-34页 |
| ·溶胶的光谱分析 | 第30-32页 |
| ·薄膜的紫外光感光特性 | 第32-33页 |
| ·薄膜的微细图形 | 第33-34页 |
| ·薄膜的XRD 图谱 | 第34-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 第五章YBCO超导薄膜性能的研究 | 第36-45页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·溶胶的配制 | 第36-39页 |
| ·TMM 法制备YBCO 稳定感光溶胶 | 第36-37页 |
| ·Ba-TFA 法制备YBCO 稳定感光溶胶 | 第37-39页 |
| ·无氟sol-gel 法YBCO 薄膜研究 | 第39-41页 |
| ·TMM 法薄膜制备过程 | 第39页 |
| ·TMM 法制备的薄膜性能分析 | 第39-41页 |
| ·含氟sol-gel 法YBCO 薄膜研究 | 第41-44页 |
| ·Ba-TFA 法薄膜制备过程 | 第41-42页 |
| ·薄膜XRD 分析 | 第42页 |
| ·薄膜Φ曲线分析 | 第42-43页 |
| ·YBCO 薄膜形貌分析 | 第43-44页 |
| ·超导电性测试 | 第44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第六章 YBCO薄膜的微细图形加工 | 第45-51页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·实验方法 | 第45-46页 |
| ·YBCO 感光溶胶的制备 | 第45页 |
| ·薄膜与微细图形的制备 | 第45-46页 |
| ·结果与分析 | 第46-49页 |
| ·溶胶的光谱分析 | 第46-47页 |
| ·薄膜的紫外光感光特性 | 第47-49页 |
| ·不同热处理温度下YBCO 薄膜红外光谱分析 | 第49页 |
| ·薄膜微细图形加工 | 第49-50页 |
| ·结论 | 第50-51页 |
| 第七章 结论 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-59页 |