| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| Contents | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| ·本课题研究背景和意义 | 第12-13页 |
| ·微细加工技术及其发展状况 | 第13-18页 |
| ·高能束流微细加工技术 | 第14-16页 |
| ·微细电火花加工 | 第16页 |
| ·LIGA技术 | 第16-18页 |
| ·其他微细加工方法 | 第18页 |
| ·电化学微细加工技术 | 第18-21页 |
| ·EFAB(Electrochemical Fabrication)制作技术 | 第19页 |
| ·约束刻蚀剂层技术 | 第19-20页 |
| ·高频、窄脉冲电源电化学微细加工技术 | 第20-21页 |
| ·简单电极的数控加工技术 | 第21页 |
| ·本课题研究概况 | 第21-23页 |
| ·课题方案 | 第21-22页 |
| ·课题来源 | 第22页 |
| ·研究目标与研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 微细电解加工基础理论 | 第23-32页 |
| ·电解加工 | 第23-24页 |
| ·电极／溶液界面的双电层理论 | 第24-25页 |
| ·阳极极化及其特征 | 第25-26页 |
| ·加工间隙 内的电场分布 | 第26-27页 |
| ·电解加工的法拉第定律 | 第27页 |
| ·高频、窄脉冲电流电解加工 | 第27-29页 |
| ·电解液注入方式 | 第29-30页 |
| ·电解加工结果的评价指标 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 三维微细展成电解加工装备的设计制作 | 第32-51页 |
| ·总体方案分析 | 第32-35页 |
| ·需求功能分析 | 第32页 |
| ·装置结构方案 | 第32-33页 |
| ·方案确定 | 第33-35页 |
| ·装备机械结构设计与计算 | 第35-45页 |
| ·XY十字工作台、Z工作台 | 第37-40页 |
| ·U、V回转轴 | 第40-42页 |
| ·角度调整装置 | 第42-45页 |
| ·电解液循环系统 | 第45页 |
| ·控制部分以及控制软件 | 第45-50页 |
| ·步进电机及其运动控制 | 第46-48页 |
| ·短路监测、控制 | 第48-50页 |
| ·脉冲电源 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 高频、窄脉冲电源微细电解加工机理研究 | 第51-73页 |
| ·电解加工运动控制 | 第51-55页 |
| ·加工过程中电压的变化 | 第51-52页 |
| ·加工过程的控制流程图 | 第52-54页 |
| ·加工过程的控制程序 | 第54-55页 |
| ·端面间隙△_b对加工速度的影响 | 第55-57页 |
| ·电解加工随时间的腐蚀规律 | 第57-58页 |
| ·电解液种类、浓度对加工情况的影响 | 第58-65页 |
| ·不同电解液对加工表面质量的影响 | 第58-59页 |
| ·电解液浓度、类型对加工精度的影响 | 第59-61页 |
| ·加工表面化学成分的能谱分析 | 第61-65页 |
| ·脉冲电源对加工精度的影响 | 第65-69页 |
| ·电压对侧面间隙的影响 | 第65-67页 |
| ·脉宽对侧面间隙的影响 | 第67页 |
| ·占空比对侧面间隙的影响 | 第67-69页 |
| ·打孔加工 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 第五章 电极在线制作与零件加工 | 第73-78页 |
| ·电极在线制作技术 | 第73页 |
| ·电极加工 | 第73-76页 |
| ·固定块反拷加工 | 第73-74页 |
| ·互换电极极性进行简单反拷加工 | 第74-75页 |
| ·互换电极极性进行多次交互加工 | 第75-76页 |
| ·加工时出现问题及其解决方法 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 结论与展望 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-85页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第85-86页 |
| 独创性声明 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 附录Ⅰ 实验装备总装图 | 第88-89页 |
| 附录Ⅱ 实验装备 | 第89-90页 |
| 附录Ⅲ 电压采集程序(部分) | 第90-91页 |