| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪言 | 第9-26页 |
| ·前言 | 第9-10页 |
| ·微结构气体传感器的结构及原理 | 第10-11页 |
| ·微结构气体传感器及其阵列制备技术的研究现状 | 第11-23页 |
| ·纳米气敏传感器阵列的研究现状 | 第23-24页 |
| ·激光在气体传感器阵列制备技术中的应用现状 | 第24页 |
| ·激光微加工微气敏传感器阵列的制备技术研究目的和意义 | 第24-25页 |
| ·本文研究的主要的内容和主要技术路线 | 第25-26页 |
| 2 激光开槽填敷RuO_2加热电阻的制备及特性研究 | 第26-38页 |
| ·前言 | 第26页 |
| ·实验材料与设备 | 第26-27页 |
| ·激光开槽工艺与填敷RuO_2加热电阻的制备 | 第27-28页 |
| ·实验结果与分析 | 第28-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 3 气敏电极的制备与可靠性研究 | 第38-45页 |
| ·前言 | 第38页 |
| ·传感器阵列气敏电极制备过程 | 第38-39页 |
| ·结果与讨论 | 第39-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 纳米ZnO 气敏传感器阵列的制备及气敏特性 | 第45-53页 |
| ·前言 | 第45-46页 |
| ·纳米ZnO 气敏传感器阵列的制备 | 第46-48页 |
| ·结果与讨论 | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 电极及敏感膜的厚度对阵列气敏特性和长期稳定性影响 | 第53-64页 |
| ·前言 | 第53页 |
| ·气体传感器阵列的制备过程与测试 | 第53-54页 |
| ·结果与讨论 | 第54-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 6 全文总结 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-74页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第74页 |
