| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 硅微加速度计的发展 | 第7-14页 |
| 1．1 MEMS和微系统 | 第7-9页 |
| 1．2 硅微加速度计以及国内外的研究状况 | 第9-13页 |
| 1．3 本文的主要工作 | 第13-14页 |
| 2 高g值加速度计的方案选择 | 第14-21页 |
| 2．1 目前硅微加速度传感器中几种典型传感器工作原理与特点 | 第14-18页 |
| 2．1．1 热对流加速度计 | 第14-15页 |
| 2．1．2 电容式加速度计 | 第15-16页 |
| 2．1．3 压阻式加速度计 | 第16-17页 |
| 2．1．4 谐振加速度计 | 第17页 |
| 2．1．5 隧道电流型加速度计 | 第17-18页 |
| 2．2 变间隙式电容式加速度计的机理 | 第18-19页 |
| 2．3 高g值加速度计结构形式的选择 | 第19-21页 |
| 2．3．1 “三明治”式电容加速度计 | 第19页 |
| 2．3．2 “跷跷板”扭摆式电容加速度计 | 第19-20页 |
| 2．3．3 梳齿式电容加速度计 | 第20-21页 |
| 3 高g值电容式加速度计的结构 | 第21-31页 |
| 3．1 扭摆式加速度计的基本数学模型 | 第21-22页 |
| 3．2 扭摆式电容加速度计的性能指标 | 第22-29页 |
| 3．2．1 固有频率 | 第22-24页 |
| 3．2．2 量程 | 第24-26页 |
| 3．2．3 分辨率 | 第26页 |
| 3．2．4 阻尼 | 第26-29页 |
| 3．3 传感器结构的具体尺寸 | 第29-31页 |
| 4 高g值加速度计的仿真 | 第31-43页 |
| 4．1 有限元法的发展和ANSYS软件 | 第31-34页 |
| 4．2 加速度计结构静力分析 | 第34-36页 |
| 4．3 加速度计结构动力学分析 | 第36-43页 |
| 4．3．1 模态分析 | 第36-38页 |
| 4．3．2 瞬态动力学分析(时间历程分析) | 第38-40页 |
| 4．3．3 阻尼分析 | 第40-43页 |
| 5 版图设计与加工 | 第43-51页 |
| 5．1 版图设计 | 第43-45页 |
| 5．2 工艺 | 第45-51页 |
| 6 试验测试 | 第51-57页 |
| 6．1 马希特锤击试验 | 第51-52页 |
| 6．2 Hopkinson杆试验 | 第52-54页 |
| 6．3 动态试验 | 第54-55页 |
| 6．4 问题与分析 | 第55-57页 |
| 7 总结与展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 附录 | 第65-66页 |
| 附录A 传感器结构应力有限元分析 | 第65-66页 |