光束整形元件的位相编码及制作工艺研究

一、 引言	第1-21页
·研究背景	第11-13页
·国内外研究现状	第13-18页
·论文的研究内容与结构	第18-19页
·论文的创新点与特色	第19-21页
二、 基本理论	第21-30页
·光束整形元件设计的基本原理	第21-23页
·光束整形技术中典型的光学系统	第23-28页
·菲涅耳衍射光学系统	第23-25页
·夫琅禾费衍射光学系统	第25-28页
·二元光学元件各级衍射效率的分布规律	第28-30页
三、 迭代傅里叶算法用于光束整形元件的位相编码	第30-40页
·基本原理	第30-31页
·影响再现像品质的几个因素	第31-35页
·实验结果与讨论	第35-40页
四、 并行激光直写系统中精缩投影物镜的光学设计	第40-51页
·并行激光直写系统的基本原理	第40-41页
·4f成像系统的像差分析	第41-43页
·双远心光学结构形式	第41-42页
·原4f成像系统的像质评价	第42-43页
·精缩投影物镜的光学设计	第43-48页
·主要设计要求和设计指标	第43-45页
·10倍精缩投影物镜的光学设计	第45-46页
·对光学零件材料和光学零件加工的技术要求	第46-48页
·具有方光点光刻的激光直写系统光学头的设计	第48-51页
·基本原理	第48页
·双远心光学结构成像系统的设计及其像差评价	第48-51页
五、 用激光直写制作光束整形元件的实验研究	第51-73页
·利用高斯光点逐点光刻法制作光束整形元件	第51-60页
·基本原理	第51-52页
·制作过程	第52-53页
·实验结果与误差分析	第53-60页
·利用方光点逐点光刻法制作光束整形元件	第60-62页
·基本原理	第60-61页
·实验结果及讨论	第61-62页
·利用逐面积光刻法制作光束整形元件	第62-73页
·基本原理	第62-63页
·液晶空间光调制器	第63-64页
·制作过程	第64-65页
·实验结果与误差分析	第65-73页
六、 结论与展望	第73-76页
·论文总结	第73-74页
·论文今后的工作	第74-76页
七、 参考文献	第76-79页
攻读学位期间发表的论文	第79-80页
致谢	第80页