微进给系统的设计与研究
| 摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| ·微进给系统的研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·微进给系统的研究背景 | 第11-12页 |
| ·微进给系统的研究意义 | 第12页 |
| ·微进给技术的概述 | 第12-13页 |
| ·国内外微进给系统的研究状况 | 第13-16页 |
| ·国外概况 | 第14页 |
| ·国内概况 | 第14-16页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 微进给系统的结构及特性研究 | 第17-26页 |
| ·微进给系统的实现方法及分析 | 第17-22页 |
| ·微进给系统的总体结构 | 第17页 |
| ·微进给驱动装置的类型及分析 | 第17-21页 |
| ·直线电机 | 第17-18页 |
| ·机械传动 | 第18页 |
| ·智能性材料 | 第18-21页 |
| ·压电驱动进给方案的研究 | 第21-22页 |
| ·进给系统压电驱动器的基本特性 | 第22-23页 |
| ·压电陶瓷位移特性的研究 | 第23-25页 |
| ·本章总结 | 第25-26页 |
| 第三章 微进给系统的设计基本方案 | 第26-37页 |
| ·概述 | 第26页 |
| ·微进给系统铰链机构方案分析 | 第26-29页 |
| ·导向机构设计基本要求 | 第26-27页 |
| ·柔性铰链的类型及特征 | 第27页 |
| ·柔性铰链材料的选择 | 第27-28页 |
| ·柔性铰链的加工及注意事项 | 第28-29页 |
| ·二维精密进给工作台的方案选择 | 第29-30页 |
| ·压电陶瓷系统控制方案 | 第30-33页 |
| ·电荷控制方法 | 第30页 |
| ·开环控制方法 | 第30-32页 |
| ·闭环控制方法 | 第32-33页 |
| ·位移传感器的方案分析 | 第33-35页 |
| ·导轨的类型及其特征 | 第35-36页 |
| ·本章总结 | 第36-37页 |
| 第四章 柔性铰链的设计与有限元分析 | 第37-57页 |
| ·柔性铰链的工作特性概述 | 第37页 |
| ·柔性铰链的设计 | 第37-43页 |
| ·铰链设计的基本前提假设和参数要求 | 第37-38页 |
| ·柔性铰链的力学模型分析 | 第38-39页 |
| ·刚度分析 | 第39-43页 |
| ·柔性铰链结构及其力学性能分析 | 第43-50页 |
| ·杠杆位移放大原理 | 第43页 |
| ·复合式双柔性平行四杆机构设计 | 第43-44页 |
| ·机构固有频率与弹性恢复力的分析 | 第44-50页 |
| ·有限元分析验证 | 第50-55页 |
| ·有限元方法简介 | 第50页 |
| ·建立有限元模型 | 第50-51页 |
| ·加入载荷和边界约束条件并进行静态分析 | 第51-54页 |
| ·柔性铰链的应力分析 | 第54-55页 |
| ·预紧力对柔性铰链输出位移的影响 | 第55-56页 |
| ·本章总结 | 第56-57页 |
| 第五章 精密进给台驱动控制系统设计 | 第57-73页 |
| ·微动台控制系统的总体结构 | 第57-67页 |
| ·控制系统的硬件设计 | 第58-63页 |
| ·键盘与显示模块 | 第58-60页 |
| ·A/D转换模块 | 第60-61页 |
| ·系统复位电路设计 | 第61-62页 |
| ·测微仪 | 第62-63页 |
| ·控制系统软件设计 | 第63-67页 |
| ·微位移信号接收软件设计 | 第63-64页 |
| ·微进给驱动输出软件设计 | 第64-65页 |
| ·键盘与显示模块的软件设计 | 第65-66页 |
| ·闭环控制系统的总体软件设计 | 第66-67页 |
| ·压电陶瓷驱动器电源 | 第67-71页 |
| ·作用原理 | 第68页 |
| ·驱动器电源设计要求 | 第68-69页 |
| ·驱动器电源分类 | 第69-70页 |
| ·驱动器电源初步设计思想 | 第70-71页 |
| ·驱动模块的数据流动分析 | 第71页 |
| ·本章总结 | 第71-73页 |
| 第六章 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·论文总结 | 第73-74页 |
| ·工作展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
