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氨化Si基Ga2O3/Mo薄膜制备一维GaN和Ga2O3纳米结构的研究

摘要第1-7页
Abstract第7-9页
第一章 绪论第9-29页
 第一节 GaN材料的基本性质和研究进展第10-14页
 第二节 GaN纳米结构的生长方法第14-22页
 第三节 Ga_2O_3材料的基本性质和研究进展第22-25页
 第四节 Ga_2O_3纳米结构的生长方法第25-27页
 第五节 本论文的选题依据第27-29页
第二章 实验设备和测试表征方法第29-35页
 第一节 实验设备介绍第29-32页
 第二节 样品的测试和表征技术第32-35页
第三章 磁控溅射Ga_2O_3/Mo膜反应自组装一维GaN纳米结构的研究第35-53页
 第一节 一维GaN纳米结构的制备第35-37页
 第二节 氨化温度对合成一维GaN纳米结构的影响第37-46页
 第三节 氨化时间对合成一维GaN纳米结构的影响第46-51页
 第四节 一维GaN纳米结构的生长机制的探索第51-53页
第四章 一维Ga_2O_3纳米结构的研究第53-64页
 第一节 退火温度对合成一维Ga_2O_3纳米结构的影响第53-57页
 第二节 退火时间对合成一维Ga_2O_3纳米结构的影响第57-62页
 第三节 一维Ga_2O_3纳米结构的生长机制的探索第62-64页
第五章 结论第64-67页
参考文献第67-77页
攻读硕士学位期间发表的论文目录第77-81页
致谢第81-82页

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