| 内容提要 | 第1-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-46页 |
| ·前言 | 第8-9页 |
| ·薄膜生长 | 第9-12页 |
| ·薄膜的生长模式 | 第9-10页 |
| ·多晶薄膜的组织结构 | 第10-12页 |
| ·薄膜的织构与相变 | 第12-20页 |
| ·薄膜的织构 | 第12-19页 |
| ·薄膜的相变 | 第19-20页 |
| ·纳米复合薄膜的微观结构 | 第20-23页 |
| ·薄膜的力学性能 | 第23-30页 |
| ·共价成键致硬超硬薄膜 | 第24-25页 |
| ·粒子轰击致硬超硬薄膜 | 第25页 |
| ·异相界面致硬超硬薄膜 | 第25-30页 |
| ·本论文的选题依据和研究内容 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32页 |
| 参考文献 | 第32-46页 |
| 第2章 样品的制备与表征 | 第46-54页 |
| ·前言 | 第46页 |
| ·磁控溅射工作原理 | 第46-47页 |
| ·实验装置 | 第47-49页 |
| ·磁控溅射设备 | 第47页 |
| ·真空退火设备 | 第47-49页 |
| ·样品制备 | 第49页 |
| ·表征方法 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 第3章 氮掺杂对碳化钨薄膜的微观结构及力学性能的影响 | 第54-70页 |
| ·前言 | 第54-55页 |
| ·实验条件 | 第55页 |
| ·实验结果 | 第55-59页 |
| ·成分与微观结构 | 第55-58页 |
| ·力学性能 | 第58-59页 |
| ·讨论 | 第59-64页 |
| ·氮掺杂对薄膜择优生长的影响 | 第59-63页 |
| ·氮掺杂对薄膜相结构的影响 | 第63-64页 |
| ·氮掺杂对薄膜力学性能的影响 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 第4章 WC_xN_y薄膜的织构、相变及力学性能 | 第70-90页 |
| ·前言 | 第70-71页 |
| ·实验条件 | 第71页 |
| ·结果与讨论 | 第71-84页 |
| ·成分与微观结构 | 第71-78页 |
| ·织构与相变 | 第78-80页 |
| ·力学性能 | 第80-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-90页 |
| 第5章 尺寸效应对薄膜织构行为的影响 | 第90-106页 |
| ·前言 | 第90-91页 |
| ·实验条件 | 第91页 |
| ·实验结果 | 第91-95页 |
| ·微观结构 | 第91-95页 |
| ·应力 | 第95页 |
| ·讨论 | 第95-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-106页 |
| 第6章 NbC_xN_y薄膜的微观结构、织构演变及力学性能 | 第106-126页 |
| ·前言 | 第106-107页 |
| ·实验条件 | 第107页 |
| ·实验结果 | 第107-115页 |
| ·微观结构 | 第107-113页 |
| ·力学性能 | 第113-115页 |
| ·讨论 | 第115-121页 |
| ·微观结构与织构演变 | 第115-121页 |
| ·力学性能 | 第121页 |
| ·本章小结 | 第121-122页 |
| 参考文献 | 第122-126页 |
| 第7章 本文总结 | 第126-129页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文及专利 | 第129-131页 |
| 中文摘要 | 第131-133页 |
| Abstract | 第133-135页 |
| 致谢 | 第135-136页 |
| 作者简历 | 第136页 |