| 摘要 | 第1-11页 |
| ABSTRACT | 第11-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-28页 |
| ·本课题研究目的与意义 | 第14-16页 |
| ·固结磨料线锯切片技术的研究现状 | 第16-18页 |
| ·电镀金刚石锯丝制造技术研究现状 | 第18-20页 |
| ·加工单晶硅材料去除机理的研究现状 | 第20-23页 |
| ·材料脆性去除机理的研究 | 第20-21页 |
| ·材料塑性去除机理的研究 | 第21-22页 |
| ·单晶硅加工脆塑转变临界条件的研究 | 第22-23页 |
| ·单晶硅加工质量的研究现状 | 第23-25页 |
| ·单晶硅加工亚表面损伤层的研究 | 第23-25页 |
| ·材料各向异性对加工质量影响的研究 | 第25页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第25-28页 |
| 第2章 单晶硅各向异性对电镀金刚石线锯切片质量影响的理论研究 | 第28-44页 |
| ·单晶硅的特性 | 第28-30页 |
| ·单晶硅的结构和性能 | 第28-29页 |
| ·单晶硅的各向异性分析 | 第29-30页 |
| ·电镀金刚石线锯锯切材料去除率分析 | 第30-33页 |
| ·基于单晶硅各向异性的锯切模型 | 第30-31页 |
| ·锯切材料去除率分析 | 第31-33页 |
| ·材料去除率对切片过程的影响 | 第33页 |
| ·单晶硅各向异性对锯切硅片面形的影响 | 第33-40页 |
| ·锯切材料特性对称性的判断标准 | 第33-34页 |
| ·锯切两边材料的各向异性弹性模量计算 | 第34-38页 |
| ·各向异性对锯切硅片面形质量的影响 | 第38-40页 |
| ·单晶硅各向异性对锯切晶片表面破裂的影响 | 第40-42页 |
| ·硅片表面易开裂方向的确定与计算 | 第40-41页 |
| ·减少锯切晶片表面破碎的锯丝切入方向的确定 | 第41-42页 |
| ·电镀金刚石线锯切割单晶硅片首选锯丝切入方向的确定 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第3章 电镀金刚石线锯切割单晶硅的试验研究 | 第44-60页 |
| ·试验设备 | 第44-45页 |
| ·往复式线锯床 | 第44-45页 |
| ·电镀金刚石锯丝 | 第45页 |
| ·试验方案 | 第45-47页 |
| ·试验方案设计 | 第45-46页 |
| ·晶片质量的特性参数测量 | 第46-47页 |
| ·试验结果与分析 | 第47-56页 |
| ·切片表面形貌分析 | 第47-49页 |
| ·工艺参数对硅片表面粗糙度的影响 | 第49-51页 |
| ·工艺参数对硅片翘曲度的影响 | 第51页 |
| ·工艺参数对硅片总厚度偏差的影响 | 第51-52页 |
| ·工艺参数对硅片亚表面损伤层深度的影响 | 第52-53页 |
| ·切削液对硅片质量的影响 | 第53-56页 |
| ·锯丝磨损分析 | 第56-59页 |
| ·磨粒的磨损 | 第56-58页 |
| ·镀层的磨损 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 电镀金刚石线锯切割单晶硅材料去除机理 | 第60-76页 |
| ·线锯切割单晶硅物理模型 | 第60-61页 |
| ·线锯切割单晶硅时磨粒切削厚度理论分析 | 第61-67页 |
| ·线锯切割的几何模型 | 第61-62页 |
| ·单颗磨粒切削厚度的理论分析 | 第62-65页 |
| ·采用不同锯切参数时磨粒切削厚度的理论计算 | 第65-67页 |
| ·线锯切割单晶硅的材料去除机理研究 | 第67-74页 |
| ·单颗磨粒切削厚度与工艺参数的关系 | 第67-68页 |
| ·线锯切割单晶硅材料去除方式分析 | 第68-70页 |
| ·线锯切割单晶硅切屑形貌分析 | 第70-71页 |
| ·线锯切割硅片表面材料去除方式与工艺参数的关系 | 第71-73页 |
| ·线锯切割单晶硅晶片表面形成与材料去除机理 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第5章 单晶硅电镀金刚石线锯切割亚表层损伤深度研究 | 第76-90页 |
| ·线锯切割单晶硅亚表层损伤形式 | 第76-77页 |
| ·磨粒加工时的压痕断裂力学分析 | 第77-81页 |
| ·磨粒下方裂纹系统的应力场分析 | 第77-80页 |
| ·裂纹系统的应力场强度因子 | 第80-81页 |
| ·单晶硅线锯切割亚表层损伤深度分析与预测 | 第81-88页 |
| ·中位裂纹长度分析 | 第81-84页 |
| ·横向裂纹深度分析 | 第84-85页 |
| ·亚表层损伤层厚度预测的理论模型 | 第85-86页 |
| ·预测结果与试验结果比较 | 第86-88页 |
| ·本章小结 | 第88-90页 |
| 第6章 电镀金刚石锯丝制造技术基础研究 | 第90-102页 |
| ·试验材料选择与镀前准备 | 第90-93页 |
| ·锯丝基体与金刚石磨粒的选择 | 第90-91页 |
| ·电镀液的选择与配制 | 第91-92页 |
| ·锯丝基体与金刚石磨粒镀前处理 | 第92-93页 |
| ·电镀金刚石锯丝的制作试验 | 第93-96页 |
| ·电镀设备 | 第93页 |
| ·锯丝的电镀工艺 | 第93-94页 |
| ·锯丝制作工艺参数设计 | 第94-96页 |
| ·电镀工艺参数对锯丝质量的影响 | 第96-99页 |
| ·镀底层阴极电流密度对结合力的影响 | 第96-97页 |
| ·上砂电流密度对上砂密度的影响 | 第97-99页 |
| ·上砂时间对上砂密度的影响 | 第99页 |
| ·电镀金刚石锯丝的主要电镀缺陷与原因分析 | 第99-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 结论 | 第102-106页 |
| 参考文献 | 第106-113页 |
| 攻读学位期间发表的论文、参加的科研项目及获得奖励 | 第113-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |
| 附录 | 第116-126页 |
| 发表英文论文一 | 第116-121页 |
| 发表英文论文二 | 第121-126页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第126页 |
