| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题研究背景 | 第9-10页 |
| ·光电导开关的发展与研究现状 | 第10-12页 |
| ·光导开关的发展历史 | 第10-11页 |
| ·光电导开关的研究现状 | 第11-12页 |
| ·光电导开关的应用 | 第12-15页 |
| ·本文的主要工作 | 第15-17页 |
| 第二章 超高速光电导开关设计和输出特性模拟 | 第17-38页 |
| ·光电导开关的基本结构及工作原理 | 第17-19页 |
| ·光电导开关的基本结构 | 第17页 |
| ·光电导开关的工作原理 | 第17-18页 |
| ·光电导开关的工作模式 | 第18-19页 |
| ·超高速光电导开关芯片材料的选择和电极间隙的设计 | 第19-22页 |
| ·光电导开关芯片材料的选择 | 第20-21页 |
| ·光电导开关电极间隙设计 | 第21-22页 |
| ·超高速光电导开关的传输线结构设计 | 第22-24页 |
| ·超高速光电导开关电极与传输线连接方式选择 | 第22-23页 |
| ·超高速光电导开关的传输线结构设计 | 第23-24页 |
| ·超高速光电导开关输出电脉冲的理论分析 | 第24-34页 |
| ·光电导开关的电路分析 | 第25-27页 |
| ·光电导开关等效电路中时变电阻的计算 | 第27-31页 |
| ·超高速光电导开关输出电脉冲的波形模拟 | 第31-34页 |
| ·超高速光电导开关的PSPICE 器件模拟 | 第34-37页 |
| ·光电导开关的PSPICE 器件模型 | 第35-36页 |
| ·模拟结果 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 超高速光电导开关器件的研制 | 第38-48页 |
| ·超高速光电导开关的版图设计 | 第38-39页 |
| ·光电导开关的加工制作过程 | 第39-46页 |
| ·详细工艺流程 | 第40-41页 |
| ·超薄钛膜的制备 | 第41-42页 |
| ·纳米氧化钛线的加工 | 第42-46页 |
| ·光电导开关的绝缘保护 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 超高速光电导开关的特性测试和隧道结研究 | 第48-57页 |
| ·超高速光电导开关的基本特性测试 | 第48-50页 |
| ·电极形成后光电导开关的暗电流-电压特性测试 | 第48页 |
| ·钛膜形成后光电导开关的暗电流-电压特性曲线测试 | 第48-49页 |
| ·氧化钛线形成后光电导开关的暗电流-电压特性曲线测试 | 第49-50页 |
| ·隧道结 | 第50-55页 |
| ·隧穿现象 | 第50-51页 |
| ·隧道结的基本结构和发展 | 第51-52页 |
| ·单隧道结和双隧道结 | 第52-55页 |
| ·MIM 隧道结的制备和测试 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 超高速光电导开关的测试系统 | 第57-71页 |
| ·概述 | 第57-58页 |
| ·飞秒激光器 | 第58页 |
| ·电光调制器 | 第58-60页 |
| ·光电探测系统 | 第60-61页 |
| ·锁相检测部分 | 第61-64页 |
| ·锁相放大器的构成 | 第62页 |
| ·工作原理 | 第62-63页 |
| ·锁相放大器的重要参数 | 第63-64页 |
| ·本系统中锁相放大器参考信号的选择 | 第64页 |
| ·时间延迟系统 | 第64-67页 |
| ·仪器控制和数据采集及显示系统 | 第67-70页 |
| ·系统硬件组成 | 第67-68页 |
| ·系统软件设计 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |