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外场作用下多畴PZT铁电薄膜相变及印记失效分析

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 绪论第9-19页
   ·铁电体及铁电薄膜第9-12页
     ·铁电薄膜的研究历史第10-11页
     ·铁电薄膜性质和相关应用第11-12页
   ·铁电相变第12-15页
     ·铁电相变类型第12-14页
     ·铁电相变研究现状第14-15页
   ·铁电畴结构第15-17页
     ·铁电畴第15-16页
     ·铁电畴的观测方法第16-17页
   ·铁电失效第17-18页
   ·本论文的主要内容第18-19页
第2章 外场下多畴PZT 铁电薄膜相变分析第19-28页
   ·立方基底多畴PZT 铁电薄膜的非线性热力势函数第19-21页
     ·多畴PZT 铁电薄膜的自由能第19-20页
     ·非线性热力学函数模型的建立第20-21页
   ·多畴PZT 铁电薄膜相图第21-22页
   ·外加应力和电场对相图的影响第22-23页
   ·外加电场对多畴PZT 铁电薄膜的影响第23-27页
     ·外加电场对相图的影响第24-25页
     ·外加电场对铁电性能的影响第25-27页
   ·本章小结第27-28页
第3章 外加电场下多畴PZT 铁电薄膜的电畴翻转第28-36页
   ·扫描探针显微镜第28-29页
   ·多畴PZT 铁电薄膜的畴结构第29-31页
     ·多畴PZT 铁电薄膜原始畴观测第29-30页
     ·外加电压下多畴PZT 铁电薄膜畴翻转第30-31页
   ·多畴PZT 铁电薄膜的失配应变第31-33页
     ·XRD 测量第31-32页
     ·失配应变计算第32-33页
   ·多畴PZT 铁电薄膜电畴翻转与相变的对比分析第33-35页
   ·本章小结第35-36页
第4章 基于Landau-Khalatnikov 理论的钝化层印记失效分析第36-46页
   ·铁电存储器中的印记失效第36-37页
   ·Landau-Khalatnikov 理论第37-38页
   ·基于 LK 理论的钝化层印记失效模型第38-41页
     ·钝化层印记失效模型的建立第38-40页
     ·模型中参数的选择第40-41页
   ·钝化层对铁电薄膜电容器铁电性能的影响第41-45页
     ·不同钝化层厚度下电场和极化的时间演化第41-44页
     ·不同钝化层厚度对电滞回线的影响第44-45页
   ·本章小结第45-46页
第5章 总结与展望第46-48页
   ·论文总结第46页
   ·工作展望第46-48页
参考文献第48-54页
致谢第54-55页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第55页

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