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基于金刚石抗溅射性能的SPT寿命提高方法研究

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第10-22页
    1.1 研究背景及意义第10-13页
        1.1.1 典型的霍尔特推力器介绍第10-12页
        1.1.2 空间电推进技术发展对寿命的要求第12-13页
    1.2 国内外电推力器寿命的研究现状第13-18页
        1.2.1 寿命失效机理第13-14页
        1.2.2 提高推力器寿命的方法第14-16页
        1.2.3 寿命预测的研究方法第16-18页
    1.3 本文的主要研究工作第18-22页
        1.3.1 本文主要研究内容第19页
        1.3.2 本文章节内容安排第19-22页
第二章 金刚石应用于SPT的可行性分析第22-28页
    2.1 金刚石对于SPT性能的影响第22-25页
        2.1.1 SPT性能的评估参数第22-23页
        2.1.2 对磁场的影响第23页
        2.1.3 二次电子发射特性第23-25页
    2.2 加工制备的可行性第25-26页
    2.3 本章小结第26-28页
第三章 金刚石溅射产额的理论计算和测量实验第28-50页
    3.1 溅射产额的基本概念第28-29页
    3.2 金刚石溅射产额的理论计算方法第29-36页
        3.2.1 基于蒙特卡洛的数值模拟第29-33页
        3.2.2 基于Sigmund的理论推导第33-36页
    3.3 金刚石溅射产额的实验测量第36-48页
        3.3.1 常见测量方法介绍第36-38页
        3.3.2 实验系统与装置介绍第38-40页
        3.3.3 实验过程第40-43页
        3.3.4 实验结果与分析第43-46页
        3.3.5 金刚石溅射产额关系式的建立第46-48页
    3.4 本章小结第48-50页
第四章 表面形貌对溅射产额的影响研究第50-64页
    4.1 SEM形貌扫描与EDS能谱分析介绍第50页
    4.2 溅射后的元素成分第50-53页
        4.2.1 氮化硼陶瓷区域的元素含量分布第51-52页
        4.2.2 金刚石膜区域的元素含量分布第52-53页
        4.2.3 过渡区的能谱分析第53页
    4.3 溅射前后的形貌特点第53-56页
        4.3.1 金刚石的表面形貌第53-54页
        4.3.2 交界处的表面形貌第54-55页
        4.3.3 氮化硼陶瓷的表面形貌第55-56页
    4.4 表面形貌演化研究第56-62页
        4.4.1 离子垂直入射后的表面形貌变化第56-57页
        4.4.2 离子斜入射后的表面形貌变化第57-59页
        4.4.3 表面形貌对溅射的影响分析第59-62页
    4.5 本章小结第62-64页
第五章 SPT陶瓷放电通道镀金刚石后的寿命模拟及分析第64-84页
    5.1 模拟方法介绍第64-69页
        5.1.1 PIC/DSMC/MCC流场模拟方法第64-67页
        5.1.2 溅射产额的计算和分配方法第67-69页
        5.1.3 壁面动态变化的考虑方法第69页
    5.2 PIC/DSMC/MCC对壁面轮廓模拟的可靠性验证第69-71页
    5.3 金刚石与BN陶瓷壁面的溅射削蚀对比第71-72页
    5.4 长时间运行后金刚石壁面的削蚀情况第72-81页
        5.4.1 壁面网格与外推时长对溅射量统计的影响第72-75页
        5.4.2 SPT-70中的金刚石壁面轮廓变化第75-79页
        5.4.3 SPT-120中的金刚石壁面轮廓变化第79-81页
    5.5 本章小结第81-84页
第六章 主要结论与展望第84-88页
    6.1 主要结论第84-85页
    6.2 本文创新点第85页
    6.3 展望第85-88页
参考文献第88-94页
致谢第94-96页
攻读硕士学位期间已录用的论文第96-97页

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