摘要 | 第4-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第10-22页 |
1.1 研究背景及意义 | 第10-13页 |
1.1.1 典型的霍尔特推力器介绍 | 第10-12页 |
1.1.2 空间电推进技术发展对寿命的要求 | 第12-13页 |
1.2 国内外电推力器寿命的研究现状 | 第13-18页 |
1.2.1 寿命失效机理 | 第13-14页 |
1.2.2 提高推力器寿命的方法 | 第14-16页 |
1.2.3 寿命预测的研究方法 | 第16-18页 |
1.3 本文的主要研究工作 | 第18-22页 |
1.3.1 本文主要研究内容 | 第19页 |
1.3.2 本文章节内容安排 | 第19-22页 |
第二章 金刚石应用于SPT的可行性分析 | 第22-28页 |
2.1 金刚石对于SPT性能的影响 | 第22-25页 |
2.1.1 SPT性能的评估参数 | 第22-23页 |
2.1.2 对磁场的影响 | 第23页 |
2.1.3 二次电子发射特性 | 第23-25页 |
2.2 加工制备的可行性 | 第25-26页 |
2.3 本章小结 | 第26-28页 |
第三章 金刚石溅射产额的理论计算和测量实验 | 第28-50页 |
3.1 溅射产额的基本概念 | 第28-29页 |
3.2 金刚石溅射产额的理论计算方法 | 第29-36页 |
3.2.1 基于蒙特卡洛的数值模拟 | 第29-33页 |
3.2.2 基于Sigmund的理论推导 | 第33-36页 |
3.3 金刚石溅射产额的实验测量 | 第36-48页 |
3.3.1 常见测量方法介绍 | 第36-38页 |
3.3.2 实验系统与装置介绍 | 第38-40页 |
3.3.3 实验过程 | 第40-43页 |
3.3.4 实验结果与分析 | 第43-46页 |
3.3.5 金刚石溅射产额关系式的建立 | 第46-48页 |
3.4 本章小结 | 第48-50页 |
第四章 表面形貌对溅射产额的影响研究 | 第50-64页 |
4.1 SEM形貌扫描与EDS能谱分析介绍 | 第50页 |
4.2 溅射后的元素成分 | 第50-53页 |
4.2.1 氮化硼陶瓷区域的元素含量分布 | 第51-52页 |
4.2.2 金刚石膜区域的元素含量分布 | 第52-53页 |
4.2.3 过渡区的能谱分析 | 第53页 |
4.3 溅射前后的形貌特点 | 第53-56页 |
4.3.1 金刚石的表面形貌 | 第53-54页 |
4.3.2 交界处的表面形貌 | 第54-55页 |
4.3.3 氮化硼陶瓷的表面形貌 | 第55-56页 |
4.4 表面形貌演化研究 | 第56-62页 |
4.4.1 离子垂直入射后的表面形貌变化 | 第56-57页 |
4.4.2 离子斜入射后的表面形貌变化 | 第57-59页 |
4.4.3 表面形貌对溅射的影响分析 | 第59-62页 |
4.5 本章小结 | 第62-64页 |
第五章 SPT陶瓷放电通道镀金刚石后的寿命模拟及分析 | 第64-84页 |
5.1 模拟方法介绍 | 第64-69页 |
5.1.1 PIC/DSMC/MCC流场模拟方法 | 第64-67页 |
5.1.2 溅射产额的计算和分配方法 | 第67-69页 |
5.1.3 壁面动态变化的考虑方法 | 第69页 |
5.2 PIC/DSMC/MCC对壁面轮廓模拟的可靠性验证 | 第69-71页 |
5.3 金刚石与BN陶瓷壁面的溅射削蚀对比 | 第71-72页 |
5.4 长时间运行后金刚石壁面的削蚀情况 | 第72-81页 |
5.4.1 壁面网格与外推时长对溅射量统计的影响 | 第72-75页 |
5.4.2 SPT-70中的金刚石壁面轮廓变化 | 第75-79页 |
5.4.3 SPT-120中的金刚石壁面轮廓变化 | 第79-81页 |
5.5 本章小结 | 第81-84页 |
第六章 主要结论与展望 | 第84-88页 |
6.1 主要结论 | 第84-85页 |
6.2 本文创新点 | 第85页 |
6.3 展望 | 第85-88页 |
参考文献 | 第88-94页 |
致谢 | 第94-96页 |
攻读硕士学位期间已录用的论文 | 第96-97页 |