立式低压化学气相沉积炉设计与试验研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-21页 |
| 1.3 研究目标与内容 | 第21-22页 |
| 1.4 研究方法和技术路线 | 第22-23页 |
| 第二章 LPCVD工艺机理分析及方案研究 | 第23-29页 |
| 2.1 LPCVD工艺机理分析 | 第23-25页 |
| 2.2 LPCVD方案研究 | 第25-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 关键系统特性分析 | 第29-47页 |
| 3.1 有限元模型 | 第29-30页 |
| 3.2 气流场特性分析 | 第30-32页 |
| 3.3 温度场特性分析 | 第32-34页 |
| 3.4 工艺气体流体特性分析 | 第34-36页 |
| 3.5 微环境系统特性分析 | 第36-41页 |
| 3.6 气路系统特性分析 | 第41-45页 |
| 3.7 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 关键部件优化设计及性能分析 | 第47-81页 |
| 4.1 反应腔室优化设计 | 第47-66页 |
| 4.2 部件性能分析 | 第66-75页 |
| 4.3 整机性能分析 | 第75-79页 |
| 4.4 本章小结 | 第79-81页 |
| 第五章 温度场参数优化试验 | 第81-88页 |
| 5.1 试验设计 | 第81-83页 |
| 5.2 单因素试验 | 第83-85页 |
| 5.3 正交试验 | 第85-86页 |
| 5.4 模拟工艺试验 | 第86-87页 |
| 5.5 本章小结 | 第87-88页 |
| 第六章 整机工艺性能试验 | 第88-93页 |
| 6.1 试验目的 | 第88页 |
| 6.2 试验样机试制 | 第88-89页 |
| 6.3 试验指标 | 第89页 |
| 6.4 试验条件 | 第89-90页 |
| 6.5 试验结果 | 第90-91页 |
| 6.6 本章小结 | 第91-93页 |
| 第七章 结论与建议 | 第93-96页 |
| 7.1 主要结论 | 第93-94页 |
| 7.2 创新点 | 第94页 |
| 7.3 进一步研究建议 | 第94-96页 |
| 参考文献 | 第96-103页 |
| 致谢 | 第103-104页 |
| 个人简介 | 第104页 |
