| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 前言 | 第10页 |
| 1.2 缓蚀剂的分类和作用机理 | 第10-12页 |
| 1.3 量子化学计算概述 | 第12-15页 |
| 1.4 分子动力学模拟概述 | 第15-16页 |
| 1.5 理论计算方法在缓蚀剂机理研究方面的应用研究现状 | 第16-19页 |
| 1.6 本课题的研究意义及研究内容 | 第19-20页 |
| 1.7 创新点 | 第20-22页 |
| 2 在缓蚀剂机理理论计算研究中应用的化学参数计算方法 | 第22-29页 |
| 2.1 量子化学计算 | 第22-27页 |
| 2.2 分子动力学模拟 | 第27-29页 |
| 3 构建分子 | 第29-36页 |
| 3.1 炔醇类缓蚀剂 | 第30-31页 |
| 3.2 氨基酸类缓蚀剂 | 第31-33页 |
| 3.3 均三嗪类缓蚀剂 | 第33-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 理论计算解释缓蚀剂缓蚀机理 | 第36-59页 |
| 4.1 量子化学计算 | 第36-54页 |
| 4.2 分子动力学模拟 | 第54-57页 |
| 4.3 本章总结 | 第57-59页 |
| 5 预测设计优良缓蚀剂分子 | 第59-90页 |
| 5.1 炔醇类曼尼希碱缓蚀剂 | 第59-64页 |
| 5.2 硫脲类缓蚀剂 | 第64-68页 |
| 5.3 功能型氧化石墨烯类 | 第68-89页 |
| 5.4 本章总结 | 第89-90页 |
| 6 全文总结与展望 | 第90-93页 |
| 6.1 结论 | 第90-92页 |
| 6.2 展望 | 第92-93页 |
| 致谢 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-104页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第104页 |