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磁控溅射制备碲化铋薄膜及其热电性能的研究

摘要第4-5页
abstract第5-6页
第一章 绪论第9-15页
    1.1 课题背景与意义第9-10页
    1.2 热电材料研究现状第10-11页
    1.3 Bi_2Te_3热电材料第11-13页
    1.4 课题的研究设想和研究内容第13-15页
第二章 热电原理及应用第15-21页
    2.1 热电原理第15-16页
        2.1.1 塞贝克效应第15页
        2.1.2 珀尔贴效应第15-16页
        2.1.3 汤姆逊效应第16页
    2.2 热电材料的应用第16-19页
        2.2.1 热电发电器件第17-18页
        2.2.2 热电制冷器件第18-19页
    2.3 材料热电性能提高途径第19-20页
        2.3.1 热电优值第19页
        2.3.2 热电优值的优化第19-20页
    2.4 本章小结第20-21页
第三章 Bi_2Te_3薄膜制备及测试手段第21-31页
    3.1 Bi_2Te_3薄膜制备方法第21-23页
    3.2 Bi_2Te_3薄膜制备第23-25页
    3.3 XRD测量第25页
    3.4 SEM测量第25-26页
    3.5 Seebeck系数测量方法第26-27页
    3.6 霍尔效应测量方法第27-28页
    3.7 3ω法测量方法第28-29页
    3.8 本章小结第29-31页
第四章 Bi/Te多层薄膜热电性能研究第31-49页
    4.1 退火温度对Bi/Te多层薄膜结构和性能的影响第31-35页
        4.1.1 XRD分析第32-33页
        4.1.2 SEM分析第33-34页
        4.1.3 热电性能分析第34-35页
    4.2 退火时间对Bi/Te多层薄膜结构和性能的影响第35-43页
        4.2.1 XRD分析第36-37页
        4.2.2 SEM分析第37-41页
        4.2.3 热电性能分析第41-43页
    4.3 薄膜结构对其热电性能的影响第43-45页
    4.4 不同Te原子含量对Bi/Te多层薄膜热电性能的影响第45-48页
    4.5 本章小结第48-49页
第五章 结论第49-51页
参考文献第51-55页
攻读学位期间所取得的研究成果第55-57页
致谢第57页

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