低温等离子体系统设计及应用研究
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-24页 |
| 1.1 课题背景 | 第15-19页 |
| 1.2 发展与现状 | 第19-22页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第22-23页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第22页 |
| 1.3.2 本文的组织内容 | 第22-23页 |
| 1.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 低温等离子体系统的方案设计 | 第24-35页 |
| 2.1 低温等离子体系统整体方案 | 第24-25页 |
| 2.1.1 系统工作原理 | 第24页 |
| 2.1.2 系统设计原则 | 第24页 |
| 2.1.3 系统设计方案 | 第24-25页 |
| 2.2 激发电源模块设计 | 第25-28页 |
| 2.2.1 激发电源特点 | 第25-26页 |
| 2.2.2 激发电源方案设计 | 第26-27页 |
| 2.2.3 PWM功率电路设计 | 第27-28页 |
| 2.3 发生器模块设计 | 第28-33页 |
| 2.3.1 气体放电形式 | 第28页 |
| 2.3.2 发生器结构研究 | 第28-31页 |
| 2.3.3 电晕放电发生器 | 第31-33页 |
| 2.4 气源模块设计 | 第33-34页 |
| 2.4.1 气源标准 | 第33页 |
| 2.4.2 气源方案设计 | 第33-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 低温等离子系统激发电路设计 | 第35-56页 |
| 3.1 低温等离子体激发电路 | 第35-36页 |
| 3.2 输入级电路设计 | 第36页 |
| 3.3 可控硅调压电路 | 第36-39页 |
| 3.3.1 可控硅的调压原理 | 第36-38页 |
| 3.3.2 调压电路 | 第38-39页 |
| 3.4 PWM功率电路 | 第39-45页 |
| 3.4.1 PWM功率电路原理 | 第39-40页 |
| 3.4.2 MOS场效应管 | 第40-42页 |
| 3.4.3 MOS功率管的选择 | 第42-43页 |
| 3.4.4 MOS功率管的驱动和保护电路 | 第43-45页 |
| 3.5 PWM驱动电路 | 第45-52页 |
| 3.5.1 驱动芯片 | 第45-47页 |
| 3.5.2 SG3525外围电路 | 第47-49页 |
| 3.5.3 保护电路 | 第49-51页 |
| 3.5.4 辅助电源系统 | 第51-52页 |
| 3.6 高频变压器的研究 | 第52-55页 |
| 3.6.1 高频开关变压器设计要求 | 第52页 |
| 3.6.2 高频变压器的设计方法 | 第52-55页 |
| 3.7 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 系统测试 | 第56-62页 |
| 4.1 初期方案验证与测试 | 第56-58页 |
| 4.1.1 初期系统的测试 | 第56-57页 |
| 4.1.2 初期系统测试结果 | 第57-58页 |
| 4.2 低温等离子体系统测试 | 第58-61页 |
| 4.2.1 系统整体测试 | 第58页 |
| 4.2.2 低温等离子射流体感测试 | 第58-59页 |
| 4.2.3 功能测试 | 第59-61页 |
| 4.3 测试结论 | 第61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-63页 |
| 5.1 总结 | 第62页 |
| 5.2 后续工作与展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第66页 |
