| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 研究背景 | 第13页 |
| 1.2 太阳能电池的工作原理 | 第13-14页 |
| 1.3 太阳能电池的分类 | 第14-18页 |
| 1.3.1 硅系太阳能电池 | 第15-16页 |
| 1.3.2 染料敏化纳米晶太阳能电池 | 第16页 |
| 1.3.3 多元化合物薄膜太阳能电池 | 第16-18页 |
| 1.4 CuInS_2 太阳电池简介 | 第18-23页 |
| 1.4.1 CuInS_2 材料的性质 | 第18-20页 |
| 1.4.2 CuInS_2 薄膜的制备方法 | 第20-23页 |
| 1.4.3 CuInS_2 电池的发展历程 | 第23页 |
| 1.5 论文的研究目的、意义和内容 | 第23-25页 |
| 第二章 CuInS_2薄膜以及器件的实验方法和表征测试介绍 | 第25-35页 |
| 2.1 CuInS_2 薄膜的制备以及后处理工艺 | 第25-27页 |
| 2.1.1 衬底的处理 | 第25页 |
| 2.1.2 CuInS_2 薄膜的制备 | 第25-27页 |
| 2.1.3 CuInS_2 薄膜的后处理 | 第27页 |
| 2.2 CuInS_2 薄膜太阳能电池的设计与制备 | 第27-29页 |
| 2.2.1 Mo薄膜背接触层 | 第28页 |
| 2.2.2 CuInS_2 薄膜吸收层 | 第28页 |
| 2.2.3 CdS缓冲层 | 第28页 |
| 2.2.4 i-ZnO/ZnO(Al) 窗口层 | 第28-29页 |
| 2.3 表征、测试设备介绍 | 第29-35页 |
| 2.3.1 X射线衍射仪 | 第29-30页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜分析 | 第30页 |
| 2.3.3 能谱分析 | 第30-31页 |
| 2.3.4 紫外-可见分光光度计 | 第31页 |
| 2.3.5 拉曼光谱仪 | 第31-32页 |
| 2.3.6 台阶仪 | 第32页 |
| 2.3.7 霍尔效应测试系统 | 第32-33页 |
| 2.3.8 原子力显微镜 | 第33-35页 |
| 第三章 CuInS_2薄膜的表征与研究 | 第35-49页 |
| 3.1 CuInS_2 薄膜的退火处理 | 第35-36页 |
| 3.1.1 XRD分析 | 第35-36页 |
| 3.1.2 CuInS_2 薄膜的Raman分析 | 第36页 |
| 3.2 CuInS_2 薄膜的等离子刻蚀 | 第36-41页 |
| 3.2.1 XRD分析 | 第36-37页 |
| 3.2.2 形貌分析 | 第37-38页 |
| 3.2.3 紫外可见吸收光谱分析 | 第38-40页 |
| 3.2.4 电学性能分析 | 第40-41页 |
| 3.3 CuInS_2 薄膜的溴甲醇腐蚀 | 第41-47页 |
| 3.3.1 XRD分析 | 第41-42页 |
| 3.3.2 形貌及成分分析 | 第42-44页 |
| 3.3.3 原子力显微镜 | 第44-45页 |
| 3.3.4 紫外可见吸收光谱分析 | 第45-47页 |
| 3.3.5 电学性能分析 | 第47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 CuInS_2太阳能电池各层薄膜的表征与研究 | 第49-59页 |
| 4.1 背电极Mo层的分析 | 第49-51页 |
| 4.1.1 XRD分析 | 第49-50页 |
| 4.1.2 AFM分析 | 第50-51页 |
| 4.1.3 紫外可见吸收光谱分析 | 第51页 |
| 4.1.4 电学性能分析 | 第51页 |
| 4.2 缓冲层CdS层的分析 | 第51-53页 |
| 4.2.1 XRD分析 | 第51-52页 |
| 4.2.2 拉曼光谱分析 | 第52-53页 |
| 4.3 窗口层ZnO层的分析 | 第53-57页 |
| 4.3.1 XRD分析 | 第53-54页 |
| 4.3.2 紫外可见光谱分析 | 第54-55页 |
| 4.3.3 AFM测试 | 第55-57页 |
| 4.3.4 电学性能分析 | 第57页 |
| 4.4 CuInS_2 太阳能电池性能 | 第57-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 结论与展望 | 第59-62页 |
| 5.1 结论 | 第59-60页 |
| 5.2 展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 作者在攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第67-68页 |
| 作者在攻读硕士学位期间所作的项目 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
