电容式微加工超声传感器的有限元分析及其薄膜的形变研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 超声传感器 | 第10-11页 |
| 1.1.1 压电式超声传感器 | 第10-11页 |
| 1.1.2 电容式微加工超声传感器 | 第11页 |
| 1.2 CMUT的研究现状 | 第11-14页 |
| 1.3 本文的研究意义及主要内容 | 第14-16页 |
| 第二章 CMUT的基础理论 | 第16-21页 |
| 2.1 基本结构 | 第16-18页 |
| 2.2 工作原理 | 第18-20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 CMUT的有限元分析 | 第21-34页 |
| 3.1 有限元分析方法简介 | 第21-22页 |
| 3.2 CMUT的有限元仿真 | 第22-28页 |
| 3.2.1 有限元前处理 | 第22-25页 |
| 3.2.2 模型的分析计算 | 第25-27页 |
| 3.2.3 有限元后处理 | 第27-28页 |
| 3.3 有限元方法验证 | 第28-29页 |
| 3.4 有限元仿真的改进 | 第29-30页 |
| 3.5 电压载荷对薄膜形变分布的影响 | 第30-32页 |
| 3.6 模态分析 | 第32-33页 |
| 3.7 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 CMUT薄膜的形变数学模型 | 第34-48页 |
| 4.1 薄膜受力形变分析概述 | 第34-38页 |
| 4.1.1 能量法 | 第34-36页 |
| 4.1.2 叠加法 | 第36页 |
| 4.1.3 综合法 | 第36-38页 |
| 4.2 薄膜尺寸的选取 | 第38-39页 |
| 4.3 薄膜的形变模型 | 第39-47页 |
| 4.3.1 矩形薄膜的形变模型 | 第40-45页 |
| 4.3.2 椭圆薄膜的形变模型 | 第45-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 模型验证与结果分析 | 第48-62页 |
| 5.1 形变曲线验证 | 第48-57页 |
| 5.1.1 矩形薄膜形变曲线 | 第48-53页 |
| 5.1.2 椭圆薄膜形变曲线 | 第53-57页 |
| 5.2 电容值验证 | 第57-61页 |
| 5.2.1 矩形薄膜 | 第58-59页 |
| 5.2.2 椭圆薄膜 | 第59-61页 |
| 5.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 总结与展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 附件 | 第70页 |
