| 中文摘要 | 第5-8页 |
| Abstract | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第16-44页 |
| 1.1 前言 | 第16-17页 |
| 1.2 溅射和薄膜的生长 | 第17-20页 |
| 1.2.1 磁控溅射的工作原理 | 第17-18页 |
| 1.2.2 薄膜的生长模式 | 第18-20页 |
| 1.3 薄膜的硬度和韧性 | 第20-25页 |
| 1.3.1 薄膜硬度的测量 | 第20-23页 |
| 1.3.2 薄膜韧性的测量 | 第23-25页 |
| 1.4 纳米复合膜与纳米多层膜 | 第25-31页 |
| 1.4.1 纳米复合膜 | 第25-26页 |
| 1.4.2 纳米多层膜 | 第26-31页 |
| 1.5 薄膜的摩擦和磨损 | 第31-36页 |
| 1.5.1 薄膜的摩擦 | 第31-34页 |
| 1.5.2 薄膜的磨损 | 第34-36页 |
| 1.6 过渡金属碳化物 | 第36-40页 |
| 1.6.1 二元碳基纳米复合材料 | 第38-39页 |
| 1.6.2 三元碳基纳米复合材料 | 第39-40页 |
| 1.6.3 TaC薄膜的研究现状 | 第40页 |
| 1.7 本文的选题依据与研究内容 | 第40-44页 |
| 第二章 碳含量对TaC薄膜的结构、力学和摩擦学性能的影响 | 第44-62页 |
| 2.1 前言 | 第44页 |
| 2.2 实验 | 第44-46页 |
| 2.2.1 实验条件 | 第44-45页 |
| 2.2.2 表征方法 | 第45-46页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第46-59页 |
| 2.3.1 化学键态和微观结构 | 第46-50页 |
| 2.3.2 硬度 | 第50-51页 |
| 2.3.3 空气环境中的摩擦磨损 | 第51-54页 |
| 2.3.4 TaC薄膜的生物相容性及模拟体液中的摩擦磨损 | 第54-59页 |
| 2.4 本章小结 | 第59-62页 |
| 第三章 溅射沉积TaC_xN_y薄膜：氮含量对其结构、力学和摩擦学性能的影响 | 第62-88页 |
| 3.1 前言 | 第62页 |
| 3.2 实验方法 | 第62-64页 |
| 3.2.1 实验条件 | 第62-63页 |
| 3.2.2 样品表征 | 第63-64页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第64-85页 |
| 3.3.1 化学键态和微观结构 | 第64-71页 |
| 3.3.2 硬度与韧性 | 第71-75页 |
| 3.3.3 摩擦系数与磨损机制 | 第75-85页 |
| 3.4 本章小结 | 第85-88页 |
| 第四章 Si的引入对TaC薄膜的结构、力学和摩擦学性能的影响 | 第88-106页 |
| 4.1 前言 | 第88页 |
| 4.2 实验与表征 | 第88-90页 |
| 4.2.1 样品沉积 | 第88-89页 |
| 4.2.2 样品表征 | 第89-90页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第90-104页 |
| 4.3.1 化学键态和微观结构 | 第90-96页 |
| 4.3.2 硬度和韧性 | 第96-101页 |
| 4.3.3 摩擦磨损性能 | 第101-104页 |
| 4.4 本章小结 | 第104-106页 |
| 第五章 SiC层厚度对TaC/SiC纳米多层膜的微观结构、力学及摩擦学性能的影响 | 第106-132页 |
| 5.1 前言 | 第106-107页 |
| 5.2 实验条件与样品表征 | 第107页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第107-130页 |
| 5.3.1 结构 | 第107-113页 |
| 5.3.2 硬度 | 第113-117页 |
| 5.3.3 韧性 | 第117-122页 |
| 5.3.4 摩擦学性能 | 第122-130页 |
| 5.4 本章小结 | 第130-132页 |
| 第六章 本文总结 | 第132-136页 |
| 参考文献 | 第136-164页 |
| 作者简介 | 第164-166页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第166-168页 |
| 致谢 | 第168页 |
