| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 研究的背景和意义 | 第10页 |
| 1.3 精密定位技术的国外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.3.1 精密定位技术的国外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3.2 精密定位技术的国内研究现状 | 第13-15页 |
| 1.4 本论文研究的目的和内容 | 第15-17页 |
| 第2章 精密定位系统总体设计 | 第17-24页 |
| 2.1 超声电机驱动的气浮直线导轨精密定位系统的应用需求 | 第17-18页 |
| 2.2 系统原理及构成 | 第18-21页 |
| 2.2.1 系统结构组成 | 第18-19页 |
| 2.2.2 气浮支承技术和超声电机驱动的基本原理 | 第19-21页 |
| 2.3 精密定位系统整体方案设计 | 第21-23页 |
| 2.3.1 系统关键结构组成 | 第21-22页 |
| 2.3.2 系统控制方式设计 | 第22-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 精密定位系统关键结构设计与分析 | 第24-36页 |
| 3.1 系统驱动部分 | 第24-26页 |
| 3.1.1 超声电机的概述 | 第24页 |
| 3.1.2 超声电机的选型 | 第24-26页 |
| 3.2 运动执行部分 | 第26-30页 |
| 3.2.1 气浮直线导轨工作原理 | 第26-29页 |
| 3.2.2 重力平衡装置 | 第29-30页 |
| 3.3 双光栅反馈装置 | 第30-35页 |
| 3.3.1 光栅尺的概述 | 第30-33页 |
| 3.3.2 光栅尺的比较和选型 | 第33页 |
| 3.3.3 双光栅装置的设计 | 第33-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 精密定位系统控制部分设计与分析 | 第36-46页 |
| 4.1 PMAC运动控制卡 | 第36-38页 |
| 4.1.1 PMAC运动控制卡概述 | 第36-37页 |
| 4.1.2 PMAC运动控制卡的比较与选型 | 第37页 |
| 4.1.3 PMAC运动控制卡与超声电机驱动器的链接 | 第37-38页 |
| 4.2 超声电机的PID调节 | 第38-44页 |
| 4.2.1 PID调节原理概述 | 第38-39页 |
| 4.2.2 超声电机的PID参数整定 | 第39-40页 |
| 4.2.3 运动曲线与跟随误差分析 | 第40-44页 |
| 4.3 系统控制软件设计 | 第44-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 超声电机驱动的气浮直线导轨精密定位系统实验验证 | 第46-53页 |
| 5.1 超声电机的PID整定实验 | 第46-48页 |
| 5.1.1 实验原理与方法 | 第46页 |
| 5.1.2 实验数据分析 | 第46-48页 |
| 5.2 精密定位系统定位精度及重复性实验 | 第48-51页 |
| 5.3 实验数据分析与处理 | 第51-52页 |
| 5.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
