二维黑磷器件的制备及电学特性的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 论文的研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 二维黑磷晶体材料的研究现状 | 第9-10页 |
| 1.3 作者主要工作简介 | 第10-12页 |
| 第2章 二维黑磷晶体的制备及表征方法 | 第12-18页 |
| 2.1 二维黑磷晶体的制备方法 | 第12-14页 |
| 2.1.1 机械剥离法 | 第12页 |
| 2.1.2 溶液剥离法 | 第12-13页 |
| 2.1.3 等离子体刻蚀法 | 第13-14页 |
| 2.2 二维黑磷晶体的表征方法 | 第14-18页 |
| 2.2.1 光学显微镜 | 第14-15页 |
| 2.2.2 原子力显微镜 | 第15页 |
| 2.2.3 扫描电子显微镜 | 第15页 |
| 2.2.4 拉曼光谱 | 第15-18页 |
| 第3章 黑磷场效应管的制备及黑磷特性 | 第18-28页 |
| 3.1 黑磷场效应管制备过程 | 第18-24页 |
| 3.1.1 基于PMMA湿法转移工艺 | 第18-22页 |
| 3.1.2 基于PDMS干法转移工艺 | 第22-24页 |
| 3.2 黑磷晶体的不稳定性研究 | 第24-28页 |
| 第4章 二维黑磷晶体场效应管的输运特性 | 第28-48页 |
| 4.1 二维黑磷晶体的能带结构 | 第28-29页 |
| 4.2 二维黑磷晶体能带结构的调制方法 | 第29-32页 |
| 4.2.1 厚度调制 | 第29-30页 |
| 4.2.2 掺杂调制 | 第30页 |
| 4.2.3 电场调制 | 第30-32页 |
| 4.3 场效应管输运特性影响因素 | 第32-48页 |
| 4.3.1 材料厚度对输运特性的影响 | 第32-35页 |
| 4.3.2 退火对器件输运特性的影响 | 第35-41页 |
| 4.3.3 电极材料对输运特性的影响 | 第41-42页 |
| 4.3.4 栅极位置对输运特性影响 | 第42-48页 |
| 第5章 二维黑磷晶体异质结的输运特性 | 第48-58页 |
| 5.1 引言 | 第48页 |
| 5.2 实验方法 | 第48-49页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第49-58页 |
| 5.3.1 黑磷与硒化钼异质结电学特性 | 第49-53页 |
| 5.3.2 硒化钼与黑磷异质结电学特性 | 第53-58页 |
| 第6章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 6.1 全文总结 | 第58页 |
| 6.2 课题展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
