| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 论文的研究目的及意义 | 第10页 |
| 1.2 湿度及湿度传感器简介 | 第10-12页 |
| 1.2.1 湿度的概念 | 第10-11页 |
| 1.2.2 湿度传感器概述 | 第11-12页 |
| 1.3 高分子湿敏材料 | 第12-19页 |
| 1.3.1 高分子湿敏材料的分类 | 第12-13页 |
| 1.3.2 高分子湿敏材料研究现状 | 第13-19页 |
| 1.4 氮化碳材料概述 | 第19-24页 |
| 1.4.1 氮化碳材料的结构和性质 | 第19-21页 |
| 1.4.2 氮化碳湿敏薄膜的研究现状与发展趋势 | 第21-24页 |
| 1.5 论文研究的主要内容 | 第24-26页 |
| 第2章 氮化碳薄膜的制备与表征 | 第26-36页 |
| 2.1 氮化碳薄膜的合成机理 | 第26-27页 |
| 2.2 氮化碳薄膜的制备 | 第27-29页 |
| 2.2.1 主要实验试剂和仪器 | 第27-28页 |
| 2.2.2 载玻片的处理 | 第28-29页 |
| 2.2.3 焙烧碳酸胍粉末 | 第29页 |
| 2.3 不同焙烧温度制备氮化碳薄膜材料的表征 | 第29-35页 |
| 2.3.1 X射线衍射(XRD) | 第30-31页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第31-34页 |
| 2.3.3 傅立叶变换红外光谱(FTIR) | 第34-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 氮化碳湿度驱动薄膜的制备与机理分析 | 第36-44页 |
| 3.1 氮化碳湿度驱动薄膜的制备 | 第36-37页 |
| 3.1.1 氮化碳薄膜制备步骤 | 第36页 |
| 3.1.2 实验主要现象 | 第36-37页 |
| 3.2 氮化碳薄膜的湿度响应测试 | 第37-39页 |
| 3.3 氮化碳薄膜的感湿机理 | 第39-43页 |
| 3.3.1 氮化碳薄膜表征 | 第39-42页 |
| 3.3.2 氮化碳湿度驱动薄膜机理 | 第42-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 不对称结构氮化碳湿敏薄膜性能优化 | 第44-53页 |
| 4.1 升温速率对氮化碳薄膜性能的影响 | 第44-49页 |
| 4.1.1 不同升温速率制备薄膜的表征分析 | 第44-47页 |
| 4.1.2 不同升温速率制备薄膜的湿度响应测试 | 第47-49页 |
| 4.2 加热时间对氮化碳薄膜性能的影响 | 第49-51页 |
| 4.2.1 不同加热时间制备氮化碳薄膜材料表征分析 | 第49-51页 |
| 4.2.2 不同加热时间制备薄膜的湿度响应测试 | 第51页 |
| 4.3 本章小结 | 第51-53页 |
| 第5章 氮化碳薄膜湿敏元件研究 | 第53-64页 |
| 5.1 氮化碳薄膜湿敏元件的工作原理 | 第53-56页 |
| 5.2 湿敏元件的制作与测试平台搭建 | 第56-58页 |
| 5.2.1 氮化碳湿敏元件制备 | 第56-57页 |
| 5.2.2 湿度测试装置与测试内容 | 第57-58页 |
| 5.3 测试结果分析 | 第58-62页 |
| 5.3.1 湿敏元件静态特性分析 | 第58-59页 |
| 5.3.2 湿敏元件的动态特性分析 | 第59-61页 |
| 5.3.3 湿敏元件湿滞特性分析 | 第61-62页 |
| 5.4 湿敏元件感湿机理分析 | 第62-63页 |
| 5.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-73页 |
| 致谢 | 第73页 |