| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 1 纳米材料及氧化锌材料的简介 | 第9-13页 |
| 1.1 纳米材料的性质 | 第9-10页 |
| 1.1.1 纳米材料的重要效应 | 第9-10页 |
| 1.2 ZnO的性质 | 第10-11页 |
| 1.2.1 ZnO薄膜的结构及基本性质 | 第10页 |
| 1.2.2 光学性质 | 第10-11页 |
| 1.2.3 电学性质 | 第11页 |
| 1.3 本论文研究内容 | 第11-13页 |
| 2 ZnO的纳米薄膜的制备方法及其表征手段 | 第13-24页 |
| 2.1 制备薄膜的常用方法 | 第13-18页 |
| 2.1.1 磁控溅射法(RF Magnetron Sputtering) | 第13-14页 |
| 2.1.2 溶胶-凝胶法(Sol-Gel) | 第14-15页 |
| 2.1.3 化学气相沉积法(CVD) | 第15-16页 |
| 2.1.4 水热合成法(Hydrothermal synthesis) | 第16-17页 |
| 2.1.5 超声喷雾热解法(Ultrasonic Spray Pyrolysis) | 第17-18页 |
| 2.2 薄膜的表征手段 | 第18-24页 |
| 2.2.1 X-射线衍射(XRD) | 第18-19页 |
| 2.2.2 光致发光光谱(PL谱) | 第19-21页 |
| 2.2.3 扫描电子显微镜(SEM) | 第21-22页 |
| 2.2.4 紫外-可见光谱(UV-VIS) | 第22-24页 |
| 3 超声喷雾热解法(USP)制备薄膜 | 第24-29页 |
| 3.1 USP实验装置及其作用 | 第24-25页 |
| 3.2 实验原料与实验器材 | 第25-26页 |
| 3.3 USP法制备薄膜的影响因素 | 第26-29页 |
| 3.3.1 衬底材料 | 第26-27页 |
| 3.3.2 前驱体溶液的浓度 | 第27页 |
| 3.3.3 衬底温度 | 第27-28页 |
| 3.3.4 其他参数 | 第28-29页 |
| 4 USP法制备N掺杂ZnO薄膜及其表征 | 第29-44页 |
| 4.1 实验过程 | 第29-30页 |
| 4.2 载气流速对N掺杂ZnO薄膜的影响 | 第30-37页 |
| 4.2.1 载气流速对N掺杂ZnO薄膜结晶性能的影响 | 第30-32页 |
| 4.2.2 载气流速对N掺杂ZnO薄膜发光性能的影响 | 第32-33页 |
| 4.2.3 载气流速对N掺杂ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第33-36页 |
| 4.2.4 载气流速对N掺杂ZnO薄膜透过率的影响 | 第36-37页 |
| 4.3 温度对N掺杂ZnO薄膜的影响 | 第37-43页 |
| 4.3.1 实验过程 | 第37页 |
| 4.3.2 温度对N掺杂ZnO薄膜结晶性能的影响 | 第37-38页 |
| 4.3.3 温度对N掺杂ZnO薄膜发光性能的影响 | 第38-40页 |
| 4.3.4 温度对N掺杂ZnO薄膜透射率的影响 | 第40页 |
| 4.3.5 温度对N掺杂ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第40-43页 |
| 4.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 5 K-N共掺ZnO薄膜的制备及其光学性能研究 | 第44-55页 |
| 5.1 实验过程 | 第44页 |
| 5.2 K~+浓度对K-N共掺ZnO薄膜的影响 | 第44-50页 |
| 5.2.1 K~+浓度对K-N共掺ZnO薄膜结晶性能的影响 | 第44-45页 |
| 5.2.2 K~+浓度对K-N共掺ZnO薄膜发光性能的影响 | 第45-46页 |
| 5.2.3 K~+浓度对K-N共掺ZnO薄膜透过率的影响 | 第46-47页 |
| 5.2.4 K~+浓度对K-N共掺ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第47-50页 |
| 5.3 衬底对K-N共掺ZnO薄膜的影响 | 第50-54页 |
| 5.3.1 实验过程 | 第50页 |
| 5.3.2 衬底对K-N共掺ZnO薄膜结晶性能的影响 | 第50-51页 |
| 5.3.3 衬底对K-N共掺ZnO薄膜发光性能的影响 | 第51-52页 |
| 5.3.4 衬底对K-N共掺ZnO薄膜透过率的影响 | 第52页 |
| 5.3.5 衬底对K-N共掺ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第52-54页 |
| 5.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
