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富氢氟酸体系选择性发射极工艺研究

致谢第5-6页
摘要第6-7页
ABSTRACT第7页
1 引言第10-13页
    1.1 光伏电池的研究背景与意义第10-11页
    1.2 工业太阳能电池的特点第11-12页
    1.3 太阳能电池产业面临的问题第12-13页
2 晶体硅太阳能电池第13-22页
    2.1 太阳能电池原理第13-20页
        2.1.1 光伏电池简介第13-15页
        2.1.2 光伏电池的基本电学性能第15-18页
        2.1.3 光电转换效率第18-20页
    2.2 选择性发射极工艺第20-22页
        2.2.1 选择性发射极结构的原理、特征第20页
        2.2.2 选择性发射极结构优点第20-22页
3 多晶硅太阳能电池SE工艺第22-27页
    3.1 多晶硅特性第22-23页
    3.2 生产流程介绍第23-27页
        3.2.1 酸制绒工艺第23页
        3.2.2 扩散制结第23-24页
        3.2.3 PECVD镀膜第24-25页
        3.2.4 丝网印刷工艺第25-27页
4 酸腐蚀选择性发射极工艺研究第27-36页
    4.1 酸腐蚀第27-28页
        4.1.1 腐蚀原理第27-28页
    4.2 酸腐蚀时间对制绒减重和反射率的影响第28-32页
    4.3 HNO_2和HF溶液配比对晶硅反射率的影响第32-34页
    4.4 碱腐蚀对电池片电性能的影响探究第34-35页
    4.5 本章小结第35-36页
5 结论第36-37页
参考文献第37-39页
作者简历第39-41页
学位论文数据集第41页

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