硅基近场光镊的光学微操控研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-29页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-14页 |
| 1.2 光镊的基本原理 | 第14-20页 |
| 1.2.1 梯度力和散射力 | 第15-18页 |
| 1.2.2 传统光镊的局限性 | 第18-20页 |
| 1.3 近场光镊的发展现状和趋势 | 第20-24页 |
| 1.3.1 平面波导器件 | 第21-23页 |
| 1.3.2 光学谐振器 | 第23-24页 |
| 1.3.3 等离子体 | 第24页 |
| 1.4 研究意义 | 第24-26页 |
| 1.5 本论文主要内容 | 第26-29页 |
| 第二章 近场光镊的分析方法和硅基加工工艺 | 第29-39页 |
| 2.1 电磁场的数值仿真方法 | 第29-32页 |
| 2.1.1 时域差分法 | 第30页 |
| 2.1.2 有限元法 | 第30-31页 |
| 2.1.3 矩量法 | 第31-32页 |
| 2.2 光学力的计算方法 | 第32-33页 |
| 2.3 硅基制造工艺 | 第33-36页 |
| 2.3.1 光刻 | 第33-34页 |
| 2.3.2 剥离 | 第34页 |
| 2.3.3 电子束曝光 | 第34-35页 |
| 2.3.4 干法刻蚀 | 第35-36页 |
| 2.4 硅基近场光镊的封装方式 | 第36-39页 |
| 第三章 基于等离子纳米棒的硅基光学传送带设计 | 第39-47页 |
| 3.1 引言 | 第39-40页 |
| 3.2 基于等离子纳米棒的硅基光学传送带设计 | 第40-42页 |
| 3.3 硅基光学传送带的性能分析 | 第42-44页 |
| 3.4 总结 | 第44-47页 |
| 第四章 基于偏振控制的颗粒导向系统设计 | 第47-57页 |
| 4.1 引言 | 第47-48页 |
| 4.2 波导模式耦合理论 | 第48-50页 |
| 4.3 非对称定向耦合器设计 | 第50-54页 |
| 4.4 颗粒导向系统的性能分析 | 第54-56页 |
| 4.5 总结 | 第56-57页 |
| 第五章 基于硅基近场光镊的颗粒分选设计 | 第57-67页 |
| 5.1 引言 | 第57页 |
| 5.2 颗粒分选系统中的光场设计 | 第57-59页 |
| 5.3 基于硅基近场光镊的颗粒分选系统设计 | 第59-62页 |
| 5.4 颗粒分选系统的性能分析 | 第62-63页 |
| 5.5 颗粒分选系统设计 | 第63-64页 |
| 5.6 总结 | 第64-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-71页 |
| 6.1 总结 | 第67-68页 |
| 6.2 本论文的创新点 | 第68页 |
| 6.3 展望 | 第68-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 硕士期间发表文章 | 第77-81页 |
| 致谢 | 第81-83页 |
