基于变面积电容传感的大量程MEMS加速度计加工工艺研究

摘要	第4-5页
Abstract	第5页
第一章 绪论	第8-11页
1.1 课题研究背景及意义	第8-9页
1.2 课题研究主要内容	第9-11页
第二章 MEMS加速度计结构设计	第11-28页
2.1 MEMS加速度计结构概述	第11-12页
2.2 MEMS加速度计机械结构设计	第12-20页
2.3 MEMS加速度计功能层设计	第20-27页
2.4 本章小结	第27-28页
第三章 MEMS加速度计结构加工	第28-46页
3.1 MEMS加工工艺简介	第28-30页
3.2 MEMS加速度计加工工艺基础	第30-40页
3.3 MEMS加速度计整体加工工艺	第40-45页
3.4 本章小结	第45-46页
第四章 MEMS加速度计测试及优化	第46-63页
4.1 MEMS加速度计初步测试	第46-52页
4.2 寄生电容对灵敏度的影响	第52-56页
4.3 加速度计优化及测试	第56-61页
4.4 本章小结	第61-63页
第五章 总结及展望	第63-65页
致谢	第65-66页
参考文献	第66-70页
附录1 ANSYS仿真程序	第70-72页
附录2 标准工艺流程参数	第72-74页
附录3 硕士期间完成的论文	第74页