| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3页 |
| 第一章 绪论 | 第6-18页 |
| 1.1 引言 | 第6-7页 |
| 1.2 亚波长光栅相位延迟器综述 | 第7-8页 |
| 1.2.1 亚波长光栅简介 | 第7页 |
| 1.2.2 消色差相位延迟器简介 | 第7-8页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第8-15页 |
| 1.4 本文研究意义及主要内容 | 第15-18页 |
| 1.4.1 研究意义 | 第15-16页 |
| 1.4.2 主要内容 | 第16-18页 |
| 第二章 亚波长光栅分析理论研究 | 第18-33页 |
| 2.1 光栅的衍射理论 | 第18-19页 |
| 2.2 金属/介质膜光栅的严格耦合波分析 | 第19-30页 |
| 2.2.1 矩形光栅区介电常数的展开 | 第19-22页 |
| 2.2.2 单个矩形光栅严格耦合波模型 | 第22-26页 |
| 2.2.3 多层介质膜光栅严格耦合波模型 | 第26-29页 |
| 2.2.4 相位延迟器的相位差 | 第29-30页 |
| 2.3 亚波长光栅的优化设计 | 第30-32页 |
| 2.3.1 遗传算法 | 第30-31页 |
| 2.3.2 适应度评价函数 | 第31-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 单层亚波长光栅宽光谱消色差相位延迟器的设计 | 第33-38页 |
| 3.1 设计优化 | 第33-34页 |
| 3.2 特性分析 | 第34-35页 |
| 3.3 工艺容差分析 | 第35-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 夹层式金属介质膜光栅宽光谱消色差相位延迟器的设计 | 第38-43页 |
| 4.1 设计优化 | 第38-39页 |
| 4.2 特性分析 | 第39-40页 |
| 4.3 工艺容差分析 | 第40-42页 |
| 4.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第五章 多层金属介质膜光栅宽光谱消色差相位延迟器的设计 | 第43-49页 |
| 5.1 设计优化 | 第43-44页 |
| 5.2 特性分析 | 第44-45页 |
| 5.3 工艺容差分析 | 第45-48页 |
| 5.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第六章 总结与展望 | 第49-52页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第49-50页 |
| 6.2 工作展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-59页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
