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重离子辐照微纳级SRAM器件单粒子效应研究

致谢第5-8页
摘要第8-10页
Abstract第10-12页
第一章 绪论第16-46页
    1.1 空间辐射环境第18-26页
        1.1.1 银河宇宙射线第19-21页
        1.1.2 太阳粒子事件第21-22页
        1.1.3 范艾伦辐射带第22-26页
    1.2 单粒子效应第26-37页
        1.2.1 软错误第26-31页
        1.2.2 硬错误第31-37页
    1.3 微电子技术发展第37-40页
    1.4 单粒子效应研究方法第40-41页
    1.5 国内外研究现状第41-44页
        1.5.1 国外研究现状第41-43页
        1.5.2 国内研究现状第43-44页
        1.5.3 存在的问题第44页
    1.6 小结第44-46页
第二章 单粒子效应实验条件第46-56页
    2.1 兰州重离子加速器第46-48页
    2.2 单粒子效应实验终端第48-50页
    2.3 待测器件第50-53页
    2.4 单粒子效应检测系统第53-55页
    2.5 小结第55-56页
第三章 重离子LET对电路级加固SOI/SRAM器件的单粒子翻转敏感性研究第56-68页
    3.1 实验所使用的器件第57-58页
    3.2 实验步骤第58-59页
    3.3 实验结果和分析第59-63页
        3.3.1 比较ADE/SRAM和6T/SRAM的单粒子翻转敏感性第59-61页
        3.3.2 0→1和1→0的SEU敏感性第61-63页
    3.4 分析讨论第63-67页
        3.4.1 单粒子翻转的动态过程第63-64页
        3.4.2 0→1和1→0翻转的分析第64-67页
    3.5 小结第67-68页
第四章 重离子能量对系统级加固Bulk/SRAM器件的多位翻转特性研究第68-84页
    4.1 基本概念第69-70页
    4.2 实验参数第70-72页
        4.2.1 实验离子参数第70页
        4.2.2 实验器件第70-71页
        4.2.3 测试过程和实验方法第71-72页
    4.3 实验结果第72-80页
        4.3.1 2M和4M器件的实验结果第72-74页
        4.3.2 不同数据模式对于错误截面的影响第74-75页
        4.3.3 不同入射角度对于错误截面的影响第75-76页
        4.3.4 FMBU的概率统计第76页
        4.3.5 2M器件的FMBU数据特性第76-80页
    4.4 分析讨论第80-82页
        4.4.1 引起FMBU的原因第80-81页
        4.4.2 对于数据特性的解释第81-82页
    4.5 小结第82-84页
第五章 重离子射程对微纳级SOI/SRAM器件单粒子翻转截面的影响第84-104页
    5.1 实验装置与器件第86-87页
    5.2 实验结果第87-101页
    5.3 分析讨论第101-103页
    5.4 小结第103-104页
第六章 结论与展望第104-107页
    6.1 结论第104-106页
    6.2 下一步工作计划第106-107页
参考文献第107-118页
作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与科研成果第118-119页

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