| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 自适应润滑涂层简介 | 第10-13页 |
| 1.2.1 自适应纳米复合涂层 | 第11-13页 |
| 1.2.2 表面织构化填充润滑涂层 | 第13页 |
| 1.2.3 纳米管填充润滑涂层 | 第13页 |
| 1.3 循环温度自适应涂层的发展 | 第13-14页 |
| 1.4 磁控溅射技术简介 | 第14-16页 |
| 1.4.1 磁控溅射技术简介 | 第14-15页 |
| 1.4.2 射频溅射 | 第15-16页 |
| 1.4.3 反应溅射 | 第16页 |
| 1.5 涂层的生长 | 第16-18页 |
| 1.5.1 涂层生长理论 | 第16-17页 |
| 1.5.2 连续涂层(薄膜)的形成 | 第17-18页 |
| 1.6 本课题研究背景、意义及研究内容 | 第18-21页 |
| 1.6.1 研究背景及意义 | 第18-19页 |
| 1.6.2 研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 试验材料和方法 | 第21-28页 |
| 2.1 研究过程 | 第21页 |
| 2.2 试验材料 | 第21-22页 |
| 2.2.1 试验靶材 | 第21-22页 |
| 2.2.2 衬底材料 | 第22页 |
| 2.2.3 溅射气体 | 第22页 |
| 2.3 实验设备 | 第22-23页 |
| 2.3.1 涂层制备设备 | 第22-23页 |
| 2.3.2 涂层组织结构分析设备 | 第23页 |
| 2.3.3 涂层性能测试设备 | 第23页 |
| 2.4 涂层组织结构分析 | 第23-26页 |
| 2.4.1 元素组成分析 | 第23页 |
| 2.4.2 物相结构分析 | 第23-24页 |
| 2.4.3 组织形貌分析 | 第24-26页 |
| 2.5 涂层性能测试 | 第26-28页 |
| 2.5.1 显微硬度测试 | 第26页 |
| 2.5.2 涂层摩擦磨损性能测试 | 第26-28页 |
| 第三章 TiAlCN涂层的射频磁控溅射法制备及性能分析 | 第28-45页 |
| 3.1 氮气流量对TiAlCN涂层组织和性能的影响 | 第28-36页 |
| 3.1.1 TiAlCN涂层制备参数及化学成分 | 第28-30页 |
| 3.1.2 TiAlCN涂层物相结构和显微组织结构分析 | 第30-32页 |
| 3.1.3 TiAlCN涂层力学性能分析 | 第32-34页 |
| 3.1.4 TiAlCN涂层摩擦学性能分析 | 第34-36页 |
| 3.2 C含量对TiAlCN涂层组织和性能的影响 | 第36-43页 |
| 3.2.1 涂层制备参数及化学成分 | 第37-38页 |
| 3.2.2 涂层物相结构结构分析 | 第38-39页 |
| 3.2.3 涂层力学性能分析 | 第39-41页 |
| 3.2.4 TiAlCN涂层超硬机制的讨论 | 第41-42页 |
| 3.2.5 涂层摩擦学性能测试 | 第42-43页 |
| 3.3 本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 AgVN涂层的制备和摩擦学性能分析 | 第45-62页 |
| 4.1 氮气流量对AgVN涂层组织性能的影响 | 第45-53页 |
| 4.1.1 涂层制备工艺及化学成分 | 第45-46页 |
| 4.1.2 涂层物相结构和显微组织结构分析 | 第46-48页 |
| 4.1.3 涂层的室温摩擦磨损性能分析 | 第48-49页 |
| 4.1.4 涂层热处理后的结构和性能分析 | 第49-53页 |
| 4.2 基底偏压对AgVN涂层组织性能的影响 | 第53-60页 |
| 4.2.1 涂层制备工艺及化学成分 | 第53-54页 |
| 4.2.2 涂层物相结构和组织结构分析 | 第54-56页 |
| 4.2.3 涂层的室温摩擦磨损性能分析 | 第56-57页 |
| 4.2.4 涂层热处理后的结构和性能分析 | 第57-60页 |
| 4.3 本章小结 | 第60-62页 |
| 第五章 TiAlCN/AgVN复合涂层制备及摩擦学性能分析 | 第62-70页 |
| 5.1 TiAlCN涂层刻蚀工艺研究 | 第62-63页 |
| 5.1.1 等离子刻蚀工艺原理 | 第62页 |
| 5.1.2 TiAlCN涂层刻蚀工艺 | 第62-63页 |
| 5.2 AgVN填充工艺 | 第63-65页 |
| 5.3 TiAlCN/AgVN复合涂层的制备及摩擦学性能分析 | 第65-68页 |
| 5.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第六章 结论与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 结论 | 第70-71页 |
| 6.2 展望 | 第71-72页 |
| 6.2.1 基底偏压对TiAlCN涂层结构的影响 | 第71页 |
| 6.2.2 拼靶实验中存在的问题 | 第71页 |
| 6.2.3 AgVN涂层高温润滑机理分析 | 第71页 |
| 6.2.4 AgVN涂层的组织结构问题 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读硕士期间发表的文章专利 | 第78页 |
