| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 TiO_2的晶体结构 | 第12-13页 |
| 1.3 TiO_2光催化反应原理 | 第13-14页 |
| 1.4 TiO_2薄膜的常见制备方法 | 第14-16页 |
| 1.4.1 溶胶-凝胶法(Sol-gel) | 第14页 |
| 1.4.2 化学气相沉积(CVD) | 第14-15页 |
| 1.4.3 直流磁控溅射(DMS)技术 | 第15页 |
| 1.4.4 喷雾热解技术 | 第15页 |
| 1.4.5 离子束溅射 | 第15-16页 |
| 1.5 TiO_2薄膜的研究进展及应用 | 第16-17页 |
| 1.5.1 TiO_2薄膜的研究进展 | 第16页 |
| 1.5.2 TiO_2薄膜的应用 | 第16-17页 |
| 1.6 本文的选题依据与研究内容 | 第17-18页 |
| 2 制备及表征仪器 | 第18-25页 |
| 2.1 实验仪器与步骤 | 第18-20页 |
| 2.1.1 实验仪器 | 第18-20页 |
| 2.1.2 其他仪器 | 第20页 |
| 2.1.3 操作步骤 | 第20页 |
| 2.2 TiO_2薄膜的制备 | 第20-21页 |
| 2.3 表征手段 | 第21-25页 |
| 2.3.1 薄膜结构与物相表征 | 第21-22页 |
| 2.3.2 薄膜的表面形貌表征 | 第22页 |
| 2.3.3 薄膜的光学性能表征 | 第22-23页 |
| 2.3.4 光催化降解的表征 | 第23-25页 |
| 3 制备条件对TiO_2薄膜性能影响 | 第25-54页 |
| 3.1 沉积温度对TiO_2薄膜性能影响 | 第25-33页 |
| 3.1.1 采用直流磁控溅射(DMS)技术制备TiO_2薄膜 | 第25-26页 |
| 3.1.2 薄膜结构分析 | 第26-27页 |
| 3.1.3 表面形貌分析 | 第27-28页 |
| 3.1.4 光学性质分析 | 第28-30页 |
| 3.1.5 光催化性能分析 | 第30-33页 |
| 3.2 沉积时间对TiO_2薄膜性能影响 | 第33-38页 |
| 3.2.1 TiO_2薄膜的制备条件 | 第33-34页 |
| 3.2.2 薄膜结构分析 | 第34-35页 |
| 3.2.3 表面形貌分析 | 第35-36页 |
| 3.2.4 光学性质分析 | 第36-37页 |
| 3.2.5 光催化性能分析 | 第37-38页 |
| 3.3 沉积压强对TiO_2薄膜性能影响 | 第38-45页 |
| 3.3.1 TiO_2薄膜的制备 | 第38-39页 |
| 3.3.2 薄膜结构分析 | 第39-40页 |
| 3.3.3 表面形貌分析 | 第40-41页 |
| 3.3.4 光学性质分析 | 第41-42页 |
| 3.3.5 光催化性能分析 | 第42-45页 |
| 3.4 氧氩比对TiO_2薄膜性能影响 | 第45-49页 |
| 3.4.1 TiO_2薄膜的制备 | 第45页 |
| 3.4.2 薄膜结构分析 | 第45-46页 |
| 3.4.3 表面形貌分析 | 第46-47页 |
| 3.4.4 光学性质分析 | 第47-48页 |
| 3.4.5 光催化性能分析 | 第48-49页 |
| 3.5 不同衬底制备的TiO_2薄膜的性能研究 | 第49-53页 |
| 3.5.1 TiO_2薄膜的制备 | 第49页 |
| 3.5.2 薄膜结构分析 | 第49-50页 |
| 3.5.3 表面形貌分析 | 第50-51页 |
| 3.5.4 光学性质分析 | 第51-52页 |
| 3.5.5 光催化性能分析 | 第52-53页 |
| 3.6 小结 | 第53-54页 |
| 4 EFMS技术对TiO_2薄膜性能影响 | 第54-60页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 实验 | 第54-55页 |
| 4.3 实验结果与讨论 | 第55-59页 |
| 4.3.1 薄膜的结构、表面形貌 | 第55-56页 |
| 4.3.2 光学性质分析 | 第56-59页 |
| 4.4 小结 | 第59-60页 |
| 5 EFMS技术制备叠层TiO_2薄膜及其光催化性能研究 | 第60-66页 |
| 5.1 引言 | 第60页 |
| 5.2 叠层TiO_2薄膜的制备 | 第60-61页 |
| 5.2.1 单层TiO_2薄膜的制备 | 第61页 |
| 5.2.2 叠层TiO_2薄膜的制备 | 第61页 |
| 5.3 实验结果与讨论 | 第61-65页 |
| 5.3.1 薄膜样品的结构与形貌 | 第61-63页 |
| 5.3.2 薄膜样品的光学性质 | 第63-64页 |
| 5.3.3 薄膜样品的光催化性能 | 第64-65页 |
| 5.4 结论 | 第65-66页 |
| 6 结论与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 结论 | 第66-67页 |
| 6.2 展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及研究成果 | 第74页 |
| 个人简历 | 第74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第74页 |