| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1 课题的研究背景和意义 | 第13-14页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第14-17页 |
| 1.2.1 宏动平台的实现方式 | 第14页 |
| 1.2.2 微动平台的实现方式 | 第14-15页 |
| 1.2.3 宏/微位移台研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3 宏/微位移平台的发展方向 | 第17页 |
| 1.4 课题研究的主要内容和创新点 | 第17-18页 |
| 1.4.1 课题主要研究内容 | 第17-18页 |
| 1.4.2 课题研究创新点 | 第18页 |
| 1.5 论文结构框架 | 第18-19页 |
| 1.6 本章小结 | 第19-21页 |
| 第2章 宏/微二维进给位移台的总体方案设计 | 第21-29页 |
| 2.1 宏/微进给位移台结构的选择 | 第21页 |
| 2.2 宏动平台的选择 | 第21-26页 |
| 2.3 驱动源的选择 | 第26-27页 |
| 2.4 传动机构的选择 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 微动平台及微驱动器的结构设计与性能分析 | 第29-49页 |
| 3.1 微动平台的结构设计 | 第29-31页 |
| 3.2 微动平台的刚度计算 | 第31-35页 |
| 3.3 微动平台性能的仿真分析 | 第35-38页 |
| 3.4 微驱动器的结构设计 | 第38-43页 |
| 3.4.1 微驱动器的设计标准 | 第39页 |
| 3.4.2 微驱动器的位移输出方案 | 第39-40页 |
| 3.4.3 微驱动器的结构设计 | 第40-43页 |
| 3.5 微驱动器性能的仿真分析 | 第43-46页 |
| 3.5.1 有限元模型网格的划分 | 第43-44页 |
| 3.5.2 微驱动器性能仿真分析 | 第44-46页 |
| 3.6 装配后微动平台性能的仿真分析 | 第46-48页 |
| 3.6.1 装配后微动平台单方向位移输出性能分析 | 第46-47页 |
| 3.6.2 装配后微动平台输出耦合位移分析 | 第47-48页 |
| 3.7 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 宏/微动平台加工装配及实验设备的选型 | 第49-61页 |
| 4.1 宏/微动平台的加工装配 | 第49-50页 |
| 4.2 各零部件精度确定 | 第50页 |
| 4.3 实验器材的选型 | 第50-59页 |
| 4.3.1 气动系统管道选择 | 第50-52页 |
| 4.3.2 管接头的选择 | 第52页 |
| 4.3.3 气动二联件的选择 | 第52-54页 |
| 4.3.4 储气罐的选择 | 第54-55页 |
| 4.3.5 测量部件的选择 | 第55-57页 |
| 4.3.6 固定装夹部件的选择 | 第57-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 第5章 宏/微动平台的性能实验研究 | 第61-75页 |
| 5.1 微驱动器的性能实验分析 | 第61-66页 |
| 5.1.1 微驱动器输入—输出性能分析 | 第61-65页 |
| 5.1.2 微驱动器重复位移精度分析 | 第65-66页 |
| 5.1.3 微驱动器的行程和分辨率分析 | 第66页 |
| 5.2 微驱动平台的性能实验分析 | 第66-71页 |
| 5.2.1 微驱动平台单个方向的输入—输出性能分析 | 第66-70页 |
| 5.2.2 微驱动平台重复位移精度分析 | 第70页 |
| 5.2.3 微驱动平台的行程和分辨率分析 | 第70-71页 |
| 5.2.4 微驱动平台耦合误差分析 | 第71页 |
| 5.3 理论仿真拟合值的比较 | 第71-73页 |
| 5.4 精度误差分析 | 第73-74页 |
| 5.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 总结与展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及获得成果 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |