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熔石英加工表面纳结构对污染物的吸附影响研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-19页
    1.1 课题来源及研究的背景和意义第10-12页
        1.1.1 课题来源第10页
        1.1.2 课题的研究背景第10-11页
        1.1.3 课题的研究意义第11-12页
    1.2 国内外研究现状第12-17页
        1.2.1 熔石英纳米加工的国内外研究现状第12-14页
        1.2.2 润湿性研究现状第14-16页
        1.2.3 熔石英表面有机物吸附研究现状第16-17页
    1.3 本课题的主要研究内容第17-19页
第2章 分子动力学建模及纳米切削机理第19-30页
    2.1 引言第19页
    2.2 分子动力学仿真模型的建立第19-24页
        2.2.1 系综选择第19-20页
        2.2.2 分子动力学仿真势函数选取第20-21页
        2.2.3 仿真模型的建立第21-23页
        2.2.4 仿真模型正确性的验证第23-24页
    2.3 纳米切削机理第24-28页
        2.3.1 纳米加工的特点第24-27页
        2.3.2 传统加工与纳米加工的区别第27-28页
    2.4 本章小结第28-30页
第3章 熔石英纳米加工仿真及结果分析第30-53页
    3.1 引言第30页
    3.2 纳米加工模型的建立第30-32页
    3.3 加工参数对熔石英纳米加工过程的影响分析第32-47页
        3.3.1 纳米加工过程简析第32-34页
        3.3.2 刀具形状对熔石英纳米加工的影响第34-39页
        3.3.3 加工速度对熔石英纳米加工的影响第39-42页
        3.3.4 加工深度对熔石英纳米加工的影响第42-43页
        3.3.5 基底固定方式对熔石英纳米加工的影响第43-47页
    3.4 加工过程的组织结构演化分析第47-51页
    3.5 本章小结第51-53页
第4章 熔石英加工表面与理想表面润湿性研究第53-67页
    4.1 引言第53页
    4.2 固体表面润湿性机理第53-55页
    4.3 熔石英纳结构表面的润湿性第55-62页
        4.3.1 润湿性模型建立第55-56页
        4.3.2 润湿性表征方法第56-57页
        4.3.3 加工参数对纳结构润湿性的影响第57-62页
    4.4 加工表面与理想表面的润湿性对比分析第62-66页
        4.4.1 加工表面与理想表面的润湿性结果对比第62-64页
        4.4.2 加工表面与理想表面润湿性机理分析第64-66页
    4.5 本章小结第66-67页
第5章 熔石英加工表面与理想表面有机物吸附研究第67-88页
    5.1 引言第67页
    5.2 有机物的选择及模型的建立第67-68页
    5.3 有机物吸附仿真结果与分析第68-78页
        5.3.1 有机物吸附过程分析第68-69页
        5.3.2 不同加工参数下的纳结构表面有机物吸附结果分析第69-76页
        5.3.3 加工参数影响下的有机物吸附机理分析第76-78页
    5.4 加工表面与理想表面的有机物吸附对比分析第78-83页
        5.4.1 加工表面与理想表面的有机物吸附结果对比第78-80页
        5.4.2 加工表面与理想表面的有机物吸附机理分析第80-83页
    5.5 有机物脱附实验研究第83-86页
        5.5.1 实验准备第83-84页
        5.5.2 实验结果及分析第84-86页
    5.6 本章小结第86-88页
结论第88-89页
参考文献第89-94页
攻读学位期间发表论文及其它成果第94-96页
致谢第96页

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