| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 引言 | 第8-15页 |
| 1.1 加速度传感器的研究背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.2 固态惯性体加速度传感器 | 第10-12页 |
| 1.3 非固态惯性体加速度传感器 | 第12-14页 |
| 1.4 论文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 离子液体加速度传感器的结构设计及材料分析 | 第15-23页 |
| 2.1 离子液体加速度传感器的仿生学基础 | 第15-16页 |
| 2.2 离子液体加速度传感器结构设计 | 第16-17页 |
| 2.3 离子液体概述 | 第17-19页 |
| 2.4 基底材料 | 第19-20页 |
| 2.5 电极材料 | 第20-22页 |
| 2.6 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 离子液体加速度传感器的理论模型及有限元数值分析 | 第23-40页 |
| 3.1 离子液体加速度传感器的理论模型 | 第23-29页 |
| 3.1.1 微液体运动模型 | 第23-25页 |
| 3.1.2 双电层电学检测模型 | 第25-29页 |
| 3.2 离子液体加速度传感器的有限元数值分析 | 第29-39页 |
| 3.2.1 有限元分析方法 | 第29-30页 |
| 3.2.2 3D微液体运动模型 | 第30-34页 |
| 3.2.3 1D双电层模型 | 第34-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 离子液体加速度传感器的制备与性能表征 | 第40-51页 |
| 4.1 不同离子液体双电层电容分析 | 第40-42页 |
| 4.2 离子液体加速度传感器性能表征 | 第42-50页 |
| 4.2.1 单惯性体结构传感器制备及性能表征 | 第42-46页 |
| 4.2.2 多惯性体结构传感器制备及性能表征 | 第46-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 总结 | 第51-53页 |
| 5.1 论文工作总结 | 第51-52页 |
| 5.2 论文主要创新点 | 第52页 |
| 5.3 论文中的不足与未来工作展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果及参与课题 | 第59页 |