样品温度对激光诱导等离子体膨胀动力学的影响
摘要 | 第4-6页 |
abstract | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第10-22页 |
1.1 引言 | 第10-11页 |
1.2 激光诱导击穿光谱技术简介 | 第11-14页 |
1.3 LIBS技术的研究历史与现状 | 第14-17页 |
1.4 影响LIBS技术发展的主要因素 | 第17-19页 |
1.5 本论文研究内容及意义 | 第19-20页 |
1.6 论文框架结构简介 | 第20-22页 |
第二章 激光诱导击穿光谱技术理论基础 | 第22-36页 |
2.1 激光的烧蚀及等离子体的形成过程 | 第22-26页 |
2.2 激光诱导等离子体谱线辐射 | 第26-28页 |
2.3 超短激光与半导体材料的相互作用 | 第28-29页 |
2.4 LIBS谱线展宽机制 | 第29-32页 |
2.5 等离子体的物理参数 | 第32-36页 |
第三章 样品温度对LIBS谱线强度影响的研究 | 第36-72页 |
3.1 实验装置 | 第36-39页 |
3.2 锗单晶片的LIBS实验 | 第39-44页 |
3.3 物理机制 | 第44-49页 |
3.4 硅单晶片的LIBS讨论 | 第49-57页 |
3.5 等离子体动力学参数的研究 | 第57-70页 |
3.6 结论 | 第70-72页 |
第四章 等离子体膨胀动力学影响的研究 | 第72-92页 |
4.1 实验装置 | 第72-78页 |
4.2 物理机制 | 第78-88页 |
4.3 烧蚀陨坑的预测 | 第88-89页 |
4.4 结论 | 第89-92页 |
第五章 谱线的拟合 | 第92-104页 |
5.1 谱线的识别与选择 | 第92-94页 |
5.2 LIBS谱线的拟合和线形恢复 | 第94-99页 |
5.3 光谱信噪比 | 第99-104页 |
第六章 结论与展望 | 第104-108页 |
6.1 全文总结 | 第104-105页 |
6.2 展望 | 第105-108页 |
参考文献 | 第108-120页 |
攻读博士期间取得的成果 | 第120-122页 |
致谢 | 第122-123页 |