| 摘要 | 第1-10页 |
| Abstract | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| ·研究背景 | 第13-15页 |
| ·研究现状及应用 | 第15-17页 |
| ·取代改性 | 第15-17页 |
| ·退火气氛改性 | 第17页 |
| ·制备方法 | 第17-20页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第18页 |
| ·射频磁控溅射法 | 第18页 |
| ·金属有机化学气相沉积法 | 第18页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第18-20页 |
| ·铁电薄膜的电性能表征 | 第20页 |
| ·研究目的及内容 | 第20-21页 |
| 第二章 实验方案设计与研究方法 | 第21-27页 |
| ·实验原料 | 第21页 |
| ·主要仪器 | 第21-22页 |
| ·制备工艺 | 第22-25页 |
| ·工艺流程 | 第22-25页 |
| ·分析测试 | 第25-27页 |
| 第三章 Mg元素对La_(0.5)Sr_(0.5)FeO_3薄膜结构和性能的影响 | 第27-41页 |
| ·薄膜制备 | 第27-28页 |
| ·空气中退火LSF薄膜结构与性能 | 第28-34页 |
| ·LSF薄膜结构 | 第28-31页 |
| ·Mg元素对LSF薄膜介电性能的影响 | 第31-34页 |
| ·O_2、Ar中退火LSF薄膜结构与性能 | 第34-40页 |
| ·LSF-Mg薄膜结构 | 第34-37页 |
| ·LSF-Mg薄膜介电性能 | 第37-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 第四章 Ni元素对La_(0.5)Sr_(0.5)FeO_3薄膜结构和性能的影响 | 第41-55页 |
| ·薄膜制备 | 第41-42页 |
| ·空气中退火LSF薄膜结构与性能 | 第42-47页 |
| ·LSF薄膜结构 | 第42-44页 |
| ·Ni元素对LSF薄膜介电性能的影响 | 第44-47页 |
| ·O_2、Ar中退火LSF薄膜结构与性能 | 第47-52页 |
| ·LSF-Ni薄膜结构 | 第47-50页 |
| ·LSF-Ni薄膜介电性能 | 第50-52页 |
| ·小结 | 第52-55页 |
| 第五章 Cr元素对La_(0.5)Sr_(0.5)FeO_3薄膜结构和性能的影响 | 第55-67页 |
| ·薄膜制备 | 第55-56页 |
| ·空气中退火LSF薄膜结构与性能 | 第56-61页 |
| ·LSF薄膜结构 | 第56-58页 |
| ·LSF薄膜介电性能 | 第58-61页 |
| ·O_2、Ar中退火， LSF薄膜结构与性能 | 第61-66页 |
| ·LSF-Cr薄膜结构 | 第61-63页 |
| ·LSF-Cr薄膜介电性能 | 第63-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 第六章 Co元素对La_(0.5)Sr_(0.5)FeO_3薄膜结构和性能的影响 | 第67-77页 |
| ·薄膜制备 | 第67-68页 |
| ·空气中退火LSF薄膜结构与性能 | 第68-71页 |
| ·LSF薄膜结构 | 第68-70页 |
| ·LSF薄膜介电性能 | 第70-71页 |
| ·O_2、Ar中退火LSF薄膜结构与性能 | 第71-75页 |
| ·LSF-Co薄膜结构 | 第71-72页 |
| ·LSF-Co薄膜介电性能 | 第72-75页 |
| ·小结 | 第75-77页 |
| 第七章 Mn元素对La_(0.5)Sr_(0.5)FeO_3薄膜结构和性能的影响 | 第77-83页 |
| ·O_2、Ar中退火LSF薄膜结构与性能 | 第77-82页 |
| ·LSF-Mn薄膜结构 | 第77-79页 |
| ·LSF-Mn薄膜介电性能 | 第79-82页 |
| ·小结 | 第82-83页 |
| 第八章 结论与展望 | 第83-86页 |
| ·结论 | 第83-84页 |
| ·展望 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
| 附录 | 第91页 |
