MPCVD合成单晶金刚石的外延生长研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·引言 | 第9-11页 |
| ·金刚石的化学成分 | 第9页 |
| ·金刚石的晶体结构 | 第9-10页 |
| ·金刚石的分类 | 第10-11页 |
| ·合成单晶体金刚石的制备方法 | 第11-13页 |
| ·高温高压法（HTHP） | 第11-12页 |
| ·化学气相沉积法（CVD） | 第12-13页 |
| ·热丝法（HFCVD） | 第12页 |
| ·燃烧火焰化学气相沉积法（CFD） | 第12-13页 |
| ·直流等离子体气相沉积法（DCPCVD） | 第13页 |
| ·微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD） | 第13页 |
| ·论文的研究背景及主要的研究内容 | 第13-16页 |
| ·MPCVD法的国内外研究现状与发展趋势 | 第13-15页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 MPCVD合成单晶金刚石的原理和实验设备 | 第16-22页 |
| ·MPCVD合成单晶金刚石的原理 | 第16-18页 |
| ·MPCVD合成单晶金刚石的实验基本原理 | 第16-17页 |
| ·MPCVD合成单晶金刚石的外延生长原理 | 第17-18页 |
| ·实验装置简介 | 第18页 |
| ·实验步骤及过程 | 第18-19页 |
| ·种晶和基底的预处理 | 第19页 |
| ·样品表征手段 | 第19-22页 |
| ·常规物理性质 | 第19-20页 |
| ·宝石显微镜观察 | 第20页 |
| ·激光拉曼光谱 | 第20页 |
| ·傅里叶变换红外光谱仪 | 第20-22页 |
| 第三章 MPCVD合成单晶金刚石的实验研究 | 第22-39页 |
| ·实验样品的选取和分析 | 第22-26页 |
| ·影响MPCVD合成单晶金刚石质量的因素 | 第26-38页 |
| ·反应气体浓度对实验的影响 | 第26-30页 |
| ·碳源气体浓度的影响 | 第26-27页 |
| ·氢气浓度的影响 | 第27-28页 |
| ·氧气浓度的影响 | 第28-30页 |
| ·氮气浓度的影响 | 第30页 |
| ·种晶对实验的影响 | 第30-35页 |
| ·种晶生长面的影响 | 第30-32页 |
| ·种晶类型的影响 | 第32-33页 |
| ·种晶放置方式的影响 | 第33-35页 |
| ·反应仓压强对实验的影响 | 第35-36页 |
| ·反应温度对实验的影响 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 MPCVD合成单晶金刚石的特征 | 第39-44页 |
| ·常规仪器检测 | 第39-40页 |
| ·傅里叶红外光谱仪检测 | 第40-42页 |
| ·拉曼光谱仪检测 | 第42-44页 |
| 第五章 MPCVD合成单晶金刚石的应用 | 第44-46页 |
| ·MPCVD合成单晶金刚石在工业领域的应用 | 第44-45页 |
| ·超精密加工 | 第44页 |
| ·粒子探测器 | 第44-45页 |
| ·金刚石对顶压砧 | 第45页 |
| ·MPCVD合成单晶金刚石在宝石领域的应用 | 第45-46页 |
| 第六章 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 作者简介 | 第50页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和科研成果 | 第50页 |
